[發明專利]點測方法及其裝置

無效

• 申請號: 201110029233.0
• 申請日: 2011-01-27
• 公開（公告）號: CN102623365A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 賴允晉;徐秋田;鄧博文
• 申請（專利權）人: 惠特科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/00
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本發明涉及一種用于半導體制程的測量方法及裝置，特別是涉及一種點測方法及其裝置。

背景技術

如圖1、2所示，為一般在半導體制程中，用于晶圓測量的點測裝置100，該點測裝置100主要包含一個第一光學觀測單元10、一個第二光學觀測單元11，及兩個測量單元12，每一個測量單元12能安裝一支探針92，所述探針92用于進行點測工作，又該第一光學觀測單元10通常采用CCD(Charge-Coupled?Device)，而該第二光學觀測單元11則采用CCD或顯微鏡。

當該點測裝置100的一個承載座13承載一個晶圓90進行測量工作時，由于所述探針92位于該第二光學觀測單元11投射到該晶圓90的一個視野范圍91內，所述探針92遮住了該視野范圍91的一部分，以致于該承載座13必須先將該晶圓90移動到該第一光學觀測單元10下方進行全表面的掃瞄，收集該晶圓90表面的信息后，才能再移動該晶圓90到該第二光學觀測單元11下方，并搭配該第二光學觀測單元11對準所需測量的結構進行點測。

該點測裝置100的缺點在于：

1.測量過程中需要使用兩組光學觀測單元，但是該第一光學觀測單元10及該第二光學觀測單元11的成本都高，以致于該點測裝置100的制造成本高。

2.由于該晶圓90進行表面掃瞄與點測時會采用不同的光學觀測單元，所以該承載座13搭載該晶圓90在該第一光學觀測單元10及該第二光學觀測單元11之間移動時都需要做位置定位，如此才能防止點測時的對準誤差，因此導致該點測裝置100需要增加對準程序，測量過程的耗時較多。

3.該承載座13的移動行程較長，以致于該點測裝置100的占地面積較大，且制造成本較高。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能降低制造成本及測量時間的點測方法及其裝置。

本發明點測方法用于測量一個晶圓，該點測方法包含以下步驟：(A)制備一個光學觀測單元及至少一個測量單元，該光學觀測單元的一個鏡頭具有一個對應于該晶圓的視野范圍，每一個測量單元包括一個能安裝一支探針的探針座；(B)使用該光學觀測單元掃瞄該晶圓，同時使該探針座移動，讓該探針在該光學觀測單元的掃瞄過程中離開該視野范圍。

本發明點測方法中，該步驟(A)為制備兩個測量單元。

本發明點測方法中，該步驟(A)的探針座采用探針卡結構。

本發明點測方法還包含步驟(B)之后的一個步驟(C)及一個步驟(D)，該步驟(C)是停止該光學觀測單元的掃瞄，該步驟(D)是使該探針座移動，讓該探針進入該視野范圍內對該晶圓接觸進行測量。

本發明點測裝置包含一個工作臺、一個光學觀測單元，及至少一個測量單元；該工作臺包括一個測量區；該光學觀測單元架設于該工作臺并包括一個鏡頭，該鏡頭具有一個對應于該測量區的視野范圍；該測量單元設置于該測量區周圍，每一個測量單元包括一個能安裝一支探針的探針座，該探針座能在一個使該探針進入該視野范圍的測量位置，及一個使該探針離開該視野范圍的閃避位置之間移動。

本發明點測裝置包含兩個分別設置于該測量區周圍的測量單元。

本發明點測裝置中，該測量單元的探針座采用探針卡結構。

本發明點測裝置中，該工作臺還包括一個承載座，該承載座用于承載一個晶圓并能相對該鏡頭移動。

本發明點測裝置中，每一個測量單元還包括一個動力源，該探針座是受到該動力源的驅動產生移動，該動力源選自于壓缸、馬達。

本發明點測裝置中，每一個測量單元還包括一個設置于該工作臺的軌道組，及一個滑設于該軌道組的移動盤，該探針座設置于該移動盤，該動力源的運作連動該移動盤。

本發明的有益效果在于：通過該探針座能移動避開該視野范圍的設計，就能使用單一個光學觀測單元對該晶圓進行全表面掃瞄及點測時的對準工作，而不需要增加多個光學觀測單元，此外還能夠減少該晶圓的移動行程及對準工作，使得移動該晶圓的相關機構能較精簡，該點測裝置整體的制造成本及占地面積都能達到降低的功效。

附圖說明

圖1是一立體圖，說明一般點測裝置的組成結構；

圖2是一正視圖，說明一般點測裝置上的兩支探針遮住了一部分視野范圍的使用情形；

圖3是一立體圖，說明本發明點測方法及其裝置的較佳實施例；

圖4是一剖視圖，說明該較佳實施例中，一個工作臺、一個光學觀測單元，及兩個測量單元的組合結構；

圖5是一示意圖，說明該較佳實施例中，兩個探針座位于一個閃避位置；