[發明專利]點測方法及其裝置

無效

• 申請號: 201110029233.0
• 申請日: 2011-01-27
• 公開（公告）號: CN102623365A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 賴允晉;徐秋田;鄧博文
• 申請（專利權）人: 惠特科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/00
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

1.一種點測方法，用于測量一個晶圓，該點測方法的特征在于包含以下步驟：

(A)制備一個光學觀測單元及至少一個測量單元，該光學觀測單元的一個鏡頭具有一個對應于該晶圓的視野范圍，每一個測量單元包括一個能安裝一支探針的探針座；

(B)使用該光學觀測單元掃瞄該晶圓，同時使該探針座移動，讓該探針在該光學觀測單元的掃瞄過程中離開該視野范圍。

2.根據權利要求1所述的點測方法，其特征在于：該步驟(A)為制備兩個測量單元。

3.根據權利要求1所述的點測方法，其特征在于：該步驟(A)的探針座采用探針卡結構。

4.根據權利要求1所述的點測方法，其特征在于：還包含步驟(B)之后的一個步驟(C)及一個步驟(D)，該步驟(C)是停止該光學觀測單元的掃瞄，該步驟(D)是使該探針座移動，讓該探針進入該視野范圍內對該晶圓接觸進行測量。

5.一種點測裝置，其特征在于：

該點測裝置包含一個工作臺、一個光學觀測單元，及至少一個測量單元；

該工作臺包括一個測量區；

該光學觀測單元架設于該工作臺并包括一個鏡頭，該鏡頭具有一個對應于該測量區的視野范圍；

該測量單元設置于該測量區周圍，每一個測量單元包括一個能安裝一支探針的探針座，該探針座能在一個使該探針進入該視野范圍的測量位置，及一個使該探針離開該視野范圍的閃避位置之間移動。

6.根據權利要求5所述的點測裝置，其特征在于：包含兩個分別設置于該測量區周圍的測量單元。

7.根據權利要求5所述的點測裝置，其特征在于：該測量單元的探針座采用探針卡結構。

8.根據權利要求5所述的點測裝置，其特征在于：該工作臺還包括一個承載座，該承載座用于承載一個晶圓并能相對該鏡頭移動。

9.根據權利要求5所述的點測裝置，其特征在于：每一個測量單元還包括一個動力源，該探針座是受到該動力源的驅動產生移動，該動力源選自于壓缸、馬達。

10.根據權利要求9所述的點測裝置，其特征在于：每一個測量單元還包括一個設置于該工作臺的軌道組，及一個滑設于該軌道組的移動盤，該探針座設置于該移動盤，該動力源的運作連動該移動盤。