[發明專利]半導體封裝設備自動上料系統有效
| 申請號: | 201110029218.6 | 申請日: | 2011-01-27 |
| 公開(公告)號: | CN102157399A | 公開(公告)日: | 2011-08-17 |
| 發明(設計)人: | 趙新民 | 申請(專利權)人: | 南通富士通微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京市惠誠律師事務所 11353 | 代理人: | 雷志剛;潘士霖 |
| 地址: | 226006 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 封裝 設備 自動 系統 | ||
1.半導體封裝設備自動上料系統,其特征在于,所述自動上料系統包括以下五部分構成:一是傳送裝置,二是軌道調節裝置,三是料籃,四是頂料裝置,五是分料裝置;
所述傳送裝置為對稱結構,包括軌道、傳送帶和連接塊,所述傳送帶固定于所述軌道的內側,軌道的外側固定于所述連接塊上;
所述軌道調節裝置設有軌道底板和軌道滑塊,所述軌道底板和軌道滑塊上均設有螺孔,軌道底板通過螺孔固定于軌道滑塊上,軌道底板與所述傳送裝置的連接塊的下端相連;
所述料籃由柱形卡槽構成,所述柱形卡槽的一端被固定于所述傳送裝置的軌道上;
所述頂料裝置嵌于所述傳送裝置的中間且位于所述料籃的下方,包括頂料氣缸、頂料板和頂料氣缸固定塊,所述頂料板連接于所述頂料氣缸上方,頂料氣缸被所述頂料氣缸固定塊固定于設備上;
所述分料裝置為對稱結構且固定于所述傳送裝置兩側的連接塊上,包括分料氣缸和分料片,所述分料片連接于分料氣缸上。
2.如權利要求1所述的半導體封裝設備自動上料系統,其特征在于:還包括電源裝置,所述電源裝置設有直流電機并通過聯軸器與所述傳送裝置相連。
3.如權利要求1所述的半導體封裝設備自動上料系統,其特征在于:還包括軌道傳感器,所述軌道傳感器固定于所述軌道上。
4.如權利要求1所述的半導體封裝設備自動上料系統,其特征在于:所述料籃的柱形卡槽為四根L形棱柱且呈矩形的四角狀排布。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





