[發明專利]連續擴散處理裝置

無效

• 申請號: 201110029136.1
• 申請日: 2011-01-26
• 公開（公告）號: CN102296367A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 森川清彥;笠次克尚;西村圭介;蘆田忍
• 申請（專利權）人: 光洋熱系統株式會社
• 主分類號: C30B31/18
• 分類號: C30B31/18
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李雪春;武玉琴

1.一種連續擴散處理裝置，其特征在于包括：

輸送臺，裝載多張板狀的被處理件；

筒狀的加熱爐，從送入所述輸送臺的送入部到送出所述輸送臺的送出部以直線狀延伸；

輸送裝置，將所述輸送臺從所述送入部向所述加熱爐內依次送入，并將已在所述加熱爐內輸送的所述輸送臺從所述送出部依次送出；

加熱裝置，對通過所述加熱爐內的所述輸送臺上裝載的所述被處理件進行加熱；

多個隔壁構件，設置在所述加熱爐內，并將從所述加熱爐內的所述送入部到所述送出部之間在輸送方向上劃分成多個處理區；以及

給排氣裝置，向每個所述處理區分別提供氣體，并在每個所述處理區分別排出氣體。

2.根據權利要求1所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，

所述加熱裝置包括設置在所述加熱爐外部周圍的加熱器、與所述加熱器一起覆蓋所述加熱爐的筒狀的隔熱材料，

所述連續擴散處理裝置還包括控制裝置，所述控制裝置通過控制所述加熱器，對每個所述處理區分別進行爐內的溫度調整。

3.根據權利要求1或2所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，所述隔壁構件沿所述輸送方向可移動地設置在所述加熱爐內。

4.根據權利要求1或2所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，所述輸送臺在輸送方向上的長度尺寸小于被所述隔壁構件劃分的各處理區在輸送方向上的長度尺寸。

5.根據權利要求1所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括設置在所述加熱爐外部周圍的加熱器、與所述加熱器一起覆蓋所述加熱爐的筒狀的隔熱材料，

所述隔熱材料是沿所述輸送方向被切斷的分割結構。

6.根據權利要求1或2所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，

所述給排氣裝置包括：供氣裝置，向用于進行擴散處理的處理區提供用于擴散處理的氣體；排氣裝置，將該處理區的氣體排出，

所述供氣裝置配置在所述加熱爐的上部，

所述加熱爐具有覆蓋物，所述覆蓋物從上面和左右兩側覆蓋用于進行所述擴散處理的處理區中的所述輸送臺所通過的輸送通道，并設置有多個貫通孔。

7.根據權利要求1或2所述的連續擴散處理裝置，其特征在于，

從所述加熱爐內的所述送入部到所述送出部之間，被所述隔壁構件從所述送入部一側起劃分為升溫處理區、均熱處理區以及降溫處理區，

所述連續擴散處理裝置還包括將所述降溫處理區的氣體提供給所述升溫處理區的旁通流路。