[發明專利]基板交換裝置

無效

• 申請號: 201110023383.0
• 申請日: 2011-01-20
• 公開（公告）號: CN102610548A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 李文新;林偉仁;李月新;謝武岑
• 申請（專利權）人: 佶新科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種基板交換裝置，設置于一基板輸送帶(10)上，所述基板輸送帶(10)具有多個輸送輪(11)，其特征在于，所述基板交換裝置包括：

一懸吊架(20)；

一第一位移機構(30)，所述第一位移機構(30)設于所述懸吊架(20)上；

一第二位移機構(40)，所述第二位移機構(40)設于所述懸吊架(20)上；

一第一叉桿(50)，所述第一叉桿(50)具有多個直條排列的第一懸臂(51)，且設于所述第一位移機構(30)上，并受所述第一位移機構(30)的驅動而上下左右位移，所述多個第一懸臂(51)與所述多個輸送輪(11)為交錯設置而能夠垂直穿越所述多個輸送輪(11)；以及

一第二叉桿(60)，所述第二叉桿(60)具有多個直條排列的第二懸臂(61)，且設于所述第二位移機構(40)上，并受所述第二位移機構(40)的驅動而上下左右位移，所述多個第二懸臂(61)與所述多個輸送輪(11)為交錯設置而可垂直穿越所述多個輸送輪(11)，又所述第一叉桿(50)與所述第二叉桿(60)可受所述第一位移機構(30)與所述第二位移機構(40)的驅動，而位移至使所述第一叉桿(50)與所述第二叉桿(60)于所述基板輸送帶(10)的投影面上不重疊。

2.根據權利要求1所述的基板交換裝置，其特征在于，所述第一位移機構(30)與所述第二位移機構(40)分設于所述懸吊架(20)的兩側。

3.根據權利要求2所述的基板交換裝置，其特征在于，所述第一位移機構(30)包括一第一固定桿(31)、一第一水平位移桿(32)與一第一垂直位移桿(33)，其中所述第一固定桿(31)固設于所述懸吊架(20)上，所述第一水平位移桿(32)水平滑動設于所述第一固定桿(31)上，所述第一垂直位移桿(33)垂直滑動設于所述第一水平位移桿(32)上，而所述第一叉桿(50)固設于所述第一垂直位移桿(33)。

4.根據權利要求2所述的基板交換裝置，其特征在于，所述第二位移機構(40)包括一第二固定桿(41)、一第二水平位移桿(42)與一第二垂直位移桿(43)，其中所述第二固定桿(41)固設于所述懸吊架(20)上，所述第二水平位移桿(42)水平滑動設于所述第二固定桿(41)上，所述第二垂直位移桿(43)垂直滑動設于所述第二水平位移桿(42)上，而所述第二叉桿(60)固設于所述第二垂直位移桿(43)。