[發(fā)明專利]基板交換裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110023383.0 | 申請日: | 2011-01-20 |
| 公開(公告)號: | CN102610548A | 公開(公告)日: | 2012-07-25 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李文新;林偉仁;李月新;謝武岑 | 申請(專利權)人: | 佶新科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 余剛;吳孟秋 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 交換 裝置 | ||
技術領域
本發(fā)明涉及基板輸送裝置,尤指可交換基板位置的基板交換裝置。
背景技術
基板,如液晶顯示器用的玻璃基板,需經過多道工藝,基于工藝的需要,會存取輸送帶上的基板,進行特定的工藝,而在完成工藝之后,已完成工藝的基板會與尚未施行工藝的基板交換位置,以繼續(xù)于尚未施行工藝的基板上施行。
現有用于將完成工藝的基板與尚未施行工藝的基板交換位置,為利用機械手臂加以搬移,然而基板具有相當大的體積與重量且易破損,因此可用于搬移基板的機械手臂,其需要的體積相當的龐大且控制復雜,因而成本相當的高昂。
顯然,此現有用于搬移基板的機械手臂,難以滿足使用者降低制造成本的需求。
發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種可交換基板位置的基板交換裝置。
為了達到上述目的,本發(fā)明提供一種基板交換裝置,設置于一基板輸送帶上,該基板輸送帶具有多個輸送輪,該基板輸送裝置包括一懸吊架、一第一位移機構、一第二位移機構、一第一叉桿與一第二叉桿,其中該第一位移機構設于該懸吊架上,且該第二位移機構亦設于該懸吊架上。而該第一叉桿具有多個直條排列的第一懸臂且設于該第一位移機構上,并受該第一位移機構的驅動而上下左右位移,該多個第一懸臂與該多個輸送輪為交錯設置而可垂直穿越該多個輸送輪。
又該第二叉桿具有多個直條排列的第二懸臂且設于該第二位移機構上,并受該第二位移機構的驅動而上下左右位移,該多個第二懸臂與該多個輸送輪為交錯設置而可垂直穿越該多個輸送輪,且該第一叉桿與該第二叉桿可受該第一位移機構與該第二位移機構的驅動,而位移至使該第一叉桿與該第二叉桿于該基板輸送帶的投影面上不重疊。
根據本發(fā)明進一步改進的技術方案,該第一位移機構與該第二位移機構分設于該懸吊架的兩側。
根據本發(fā)明進一步改進的技術方案,該第一位移機構包括一第一固定桿、一第一水平位移桿與一第一垂直位移桿,其中該第一固定桿固設于該懸吊架上,該第一水平位移桿水平滑動設于該第一固定桿上,該第一垂直位移桿垂直滑動設于該第一水平位移桿上,而該第一叉桿固設于該第一垂直位移桿。
根據本發(fā)明進一步改進的技術方案,該第二位移機構包括一第二固定桿、一第二水平位移桿與一第二垂直位移桿,其中該第二固定桿固設于該懸吊架上,該第二水平位移桿水平滑動設于該第二固定桿上,該第二垂直位移桿垂直滑動設于該第二水平位移桿上,而該第二叉桿固設于該第二垂直位移桿。
據此該第一叉桿與第二叉桿可各自乘載基板,以一進一出的方式同時存取基板以交換基板,其結構簡單,設置成本低,可滿足使用者降低制造成本的需求。
附圖說明
圖1為本發(fā)明的立體外觀圖;
圖2為本發(fā)明的上視圖;
圖3為本發(fā)明的側視圖;
圖4A為本發(fā)明承接基板的動作圖一;
圖4B為本發(fā)明承接基板的動作圖二;
圖5A為本發(fā)明基板交換的動作圖一;
圖5B為本發(fā)明基板交換的動作圖二;
圖5C為本發(fā)明基板交換的動作圖三;以及
圖5D為本發(fā)明基板交換的動作圖四。
具體實施方式
有關本發(fā)明的詳細內容及技術說明,現以實施例來作進一步說明,但應了解的是,這些實施例僅為示例說明之用,而不應被解釋為對本發(fā)明實施的限制。
請參閱“圖1”、“圖2”與“圖3”所示,本發(fā)明為一種基板交換裝置,設置于一基板輸送帶10上,該基板輸送帶10具有多個輸送輪11,該基板交換裝置包括一懸吊架20、一第一位移機構30、一第二位移機構40、一第一叉桿50與一第二叉桿60,其中該第一位移機構30設于該懸吊架20上,該第二位移機構40亦設于該懸吊架20上,該第一叉桿50具有多個直條排列的第一懸臂51且設于該第一位移機構30上,并受該第一位移機構30的驅動而上下左右位移,該多個第一懸臂51與該多個輸送輪11為交錯設置而可垂直穿越該多個輸送輪11。
同樣地,該第二叉桿60具有多個直條排列的第二懸臂61且設于該第二位移機構40上,并受該第二位移機構40的驅動而上下左右位移,該多個第二懸臂61與該多個輸送輪11為交錯設置而可垂直穿越該多個輸送輪11,又該第一叉桿50與該第二叉桿60可受該第一位移機構30與該第二位移機構40的驅動,而位移至使該第一叉桿50與該第二叉桿60于該基板輸送帶10的投影面上不重疊。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





