[發明專利]晶圓視覺對中單元

無效

• 申請號: 201110022139.2
• 申請日: 2011-01-19
• 公開（公告）號: CN102263009A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 汪明波;張懷東
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/68
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

1.一種晶圓視覺對中單元，其特征在于：該單元設有基板、上下兩個隔板、框架、外圍鈑金，基板上設有晶圓位置校正平臺，晶圓位置校正平臺上設有晶圓裝載臺，框架固定在基板上，下隔板、上隔板、智能相機自下而上設置，外圍鈑金設置于框架的外圍，上隔板設有晶圓位置校正控制器，下隔板設有紅外漫反射光源，框架頂層設有智能相機。

2.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓位置校正控制器與智能相機和晶圓位置校正平臺連接，用于接收智能相機信號，根據接收到的信號控制晶圓位置校正平臺的運動。

3.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓位置校正平臺由X軸直線執行器和Y軸直線執行器組成，在X軸方向和Y軸方向實現平動。

4.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓裝載臺固定在晶圓位置校正平臺上，隨晶圓校正平臺移動。

5.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓裝載臺設有真空通道，用真空吸附晶圓。

6.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓裝載臺設有光電傳感器，用于檢測晶圓的裝載與否。

7.按照權利要求1所述的晶圓視覺對中單元，其特征在于：晶圓裝載臺上表面高于下隔板上的紅外漫反射光源上表面，方便機械手取送晶圓，同時避免晶圓移動時與光源表面摩擦。