[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110021346.6 | 申請(qǐng)日： | 2011-01-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102270592A | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王陽(yáng);王紹勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/67 | 分類號(hào)： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國(guó)省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 方形 旋轉(zhuǎn) 自動(dòng) 緊固 裝置 | ||
1.一種半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置，其特征在于：該裝置設(shè)有緊固裝置和圓形卡盤，在圓形卡盤上方安裝有緊固裝置，需要被加工的方形基片安裝于緊固裝置上。
2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置，其特征在于：四個(gè)緊固裝置均勻分布于圓形卡盤，方形基片的四個(gè)角直接卡在四個(gè)緊固裝置上。
3.按照權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置，其特征在于：圓形卡盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)四個(gè)緊固裝置一起旋轉(zhuǎn)，同時(shí)帶動(dòng)方形基片旋轉(zhuǎn)。
4.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置，其特征在于：緊固裝置設(shè)有支撐限位卡柱、離心壓片、軸孔，支撐限位卡柱上開(kāi)有軸孔，離心壓片通過(guò)軸孔和支撐限位卡柱連接。
5.按照權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體方形基片旋轉(zhuǎn)自動(dòng)緊固裝置，其特征在于：離心壓片的重心在后部，在整個(gè)裝置靜止時(shí)，離心壓片呈現(xiàn)張開(kāi)的狀態(tài)；緊固裝置的離心壓片在整個(gè)裝置旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心壓片呈現(xiàn)閉合的狀態(tài)，壓緊方形基片。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
