[發明專利]一種半導體方形基片旋轉自動緊固裝置

無效

• 申請號: 201110021346.6
• 申請日: 2011-01-19
• 公開（公告）號: CN102270592A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 王陽;王紹勇
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

技術領域

本發明涉及半導體領域，具體為一種用以在半導體生產中的方形基片旋轉自動緊固裝置，達到方形基片的快速安裝和旋轉過程中的自動緊固，保護方形基片在生產過程中的安全運行和快速的裝卸。

背景技術

目前，半導體方形基片的旋轉工藝處理過程中由于緊固裝置的安全要求，生產過程中會發生安裝不方便，耽誤生產時間，安裝方便的緊固裝置會有可能發生旋轉時候的安全問題，例如半導體掩模板生產和清洗工藝對安全性和產量有很高要求，復雜的緊固結構會是生產產量降低，而簡單的緊固結構又會使方形基片旋轉時候的安全性降低。

發明內容

為了克服上述的種種不足，本發明提供一種半導體生產中半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，通過利用旋轉離心作用，達到快速裝卸和安全旋轉方形基片的雙重需要。

本發明的技術方案是：

一種半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，該裝置設有緊固裝置和圓形卡盤，在圓形卡盤上方安裝有緊固裝置，需要被加工的方形基片安裝于緊固裝置上。

所述的半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，四個緊固裝置均勻分布于圓形卡盤，方形基片的四個角直接卡在四個緊固裝置上。

所述的半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，圓形卡盤旋轉時，帶動四個緊固裝置一起旋轉，同時帶動方形基片旋轉。

所述的半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，緊固裝置設有支撐限位卡柱、離心壓片、軸孔，支撐限位卡柱上開有軸孔，離心壓片通過軸孔和支撐限位卡柱連接。

5、按照權利要求4所述的半導體方形基片旋轉自動緊固裝置，其特征在于：離心壓片的重心在后部，在整個裝置靜止時，離心壓片呈現張開的狀態；緊固裝置的離心壓片在整個裝置旋轉時，離心壓片呈現閉合的狀態，壓緊方形基片。

本發明的優點及有益效果是：

1、本發明可以實現快速裝卸方形基片。

2、本發明可以實現在旋轉的時候自動安全鎖緊方形基片。

3、本發明同時實現安全性和產能的雙重需求。

總之，本發明用以在半導方形基片旋轉自動緊固裝置，達到半導體用方形基片，例如：掩模板和LCD，清洗前后的快速裝卸和旋轉時候的自動緊固需求。通過專用卡盤結構達到在清洗前后的快速裝卸，直接取放，無需任何多余動作和工序。在旋轉方形基片的時候，專用卡盤結構會自動利用離心力原理，達到自動保護住方形基片，保證旋轉時候，不會發生基片脫落和傾斜。

附圖說明

圖1是本發明卡盤整體結構示意圖。

圖2是本發明卡盤裝上方形基片后示意圖。

圖3是本發明卡盤自動緊固裝置在靜止時示意圖。

圖4是本發明卡盤自動緊固裝置在旋轉時示意圖。

圖中，1緊固裝置；2圓形卡盤；3方形基片；4支撐限位卡柱；5離心壓片；6軸孔。

具體實施方式

如圖1-4所示，本發明在半導體生產中方形基片旋轉自動緊固裝置，主要包括：緊固裝置1、圓形卡盤2、方形基片3(比如石英掩模板)、支撐限位卡柱4、離心壓片5、軸孔6等，具體結構如下：

如圖1所示，在圓形卡盤2上方安裝有四個緊固裝置1，方形基片3安裝于四個緊固裝置1上，通過這四個緊固裝置1限制方形基片3的橫向移動，使其在旋轉的時候不會發生側滑。

如圖2所示，四個緊固裝置1均勻分布于圓形卡盤2，方形基片3的四個角直接卡在四個緊固裝置1上，圓形卡盤2旋轉的時候，帶動四個緊固裝置1一起旋轉；同時，帶動方形基片3旋轉。

如圖3所示，緊固裝置1設有支撐限位卡柱4、離心壓片5、軸孔6等，支撐限位卡柱4上開有軸孔6，離心壓片5通過軸孔6和支撐限位卡柱4連接，由于離心壓片5的重心在后部(外側)，在整個裝置靜止的時候，離心壓片5呈現張開的狀態，從而在裝卸方形基片3的時候，達到快速和方便。

如圖4所示，緊固裝置1的離心壓片5在整個裝置旋轉的時候，由于離心力的作用，離心壓片5呈現出閉合的狀態，從而壓緊方形基片3的四個角，達到在旋轉的時候，不會造成方形基片3的脫離。

結果表明，本發明通過特殊設計的卡盤和離心緊固裝置，達到在方形基片裝卸的時候，不需要任何附加的裝卸工具和裝卸時間，直接取放，快速方便。在工藝需要旋轉方形基片的時候，通過特殊的安全緊固裝置達到自動的卡緊方形基片，保證旋轉過程中，方形基片穩定在卡盤上方，不會發生脫落和滑動。