[發明專利]蒸發單元和真空涂布裝置

有效

• 申請號: 201080070574.6
• 申請日: 2010-12-01
• 公開（公告）號: CN103249861A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: S·海恩;G·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

發明背景

技術領域

本文所述的實施例涉及用于涂布卷筒紙料（web）的真空涂布裝置。更特定而言，描述具有至少一個蒸發源和至少兩個涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。進一步實施例涉及具有相對于彼此傾斜的至少兩個涂布滾筒和至少兩個蒸發源的真空涂布裝置。進一步實施例涉及具有相對于彼此傾斜的蒸發源的蒸發單元。

背景技術

涂布裝置用于通過材料覆蓋來涂布卷筒紙料（諸如，箔片或薄膜）。涂布裝置包括導向涂布滾筒的蒸發源，該涂布滾筒傳送卷筒紙料穿過形成在蒸發源和涂布滾筒之間的沉積區域。從蒸發源蒸發的材料形成具有某一開度角的“蒸發束”，使得蒸發的材料傳播。為了限制蒸發的材料沉積到卷筒紙料上并且避免沉積到涂布裝置的其他區域上，提供覆蓋待保護區域的遮蔽構件。需要定期清洗這些遮蔽構件。此外，大量的蒸發材料沉積在這些遮蔽構件上，從而浪費了這些蒸發材料，降低了產出率。

因此，需要改良真空涂布裝置。

發明內容

鑒于以上所述，提供一種如權利要求1所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權利要求9所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權利要求14所述的真空涂布裝置。此外，提供一種如權利要求17所述的蒸發單元。此外，提供一種如權利要求20所述的用于涂布卷筒紙料的方法。

根據一個實施例，提供一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置。所述裝置包括真空腔室、第一可旋轉涂布滾筒、以及與第一滾筒平行設置的第二可旋轉涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成用于傳送至少一個卷筒紙料的縫隙。第一蒸發器包括用于產生第一蒸發束的至少一個蒸發源，其中緊靠第一涂布滾筒布置第一蒸發器。第二蒸發器包括用于產生第二蒸發束的至少一個蒸發源，其中緊靠第二涂布滾筒布置第二蒸發器。第一蒸發器與第二蒸發器相對于彼此傾斜。

根據一個實施例，提供一種蒸發單元。蒸發單元包括具有用于產生第一蒸發束的至少一個蒸發源的第一蒸發器，以及具有用于產生第二蒸發束的至少一個蒸發源的第二蒸發器。第一蒸發器與第二蒸發器相對于彼此傾斜。

根據一個實施例，提供一種用于涂布卷筒紙料的方法。所述方法包括：提供第一可旋轉涂布滾筒以及與第一滾筒平行設置的第二可旋轉涂布滾筒，其中在第一涂布滾筒與第二涂布滾筒之間形成有縫隙；通過從第一蒸發器自第一蒸發方向蒸發材料并且從第二蒸發器自第二蒸發方向蒸發材料，來形成緊靠第一涂布滾筒和第二涂布滾筒的表面的共同蒸發區域；由第一涂布滾筒和/或第二涂布滾筒傳送至少一個卷筒紙料穿過共同蒸發區域。

附圖說明

為了可以詳細地理解本發明的上述特征的方式，可參照實施例對簡要概述于上的本發明進行更加詳細的描述，這些實施例中的一些實施例圖示于附圖中。然而應注意的是，附圖僅圖示本發明的典型實施例并因此不被視為限制本發明的范圍，因為本發明可包括其他等效實施例。

圖1圖示具有兩個蒸發源和兩個彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。

圖2A圖示根據一個實施例的具有兩個蒸發源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發源相對于涂布滾筒的布置。

圖2B圖示根據一個實施例的具有兩個蒸發源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發源相對于涂布滾筒的布置。

圖2C圖示根據一個實施例的具有兩個蒸發源的真空涂布裝置的放大剖面圖，該放大剖面圖用于圖示蒸發源相對于涂布滾筒的布置。

圖3圖示具有一個蒸發源和兩個彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。

圖4圖示具有兩個蒸發源和一個涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。

圖5圖示具有一個蒸發源和兩個彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。

圖6圖示具有兩個蒸發源和兩個彼此平行布置的涂布滾筒的真空涂布裝置的實施例。

圖7圖示根據一個或多個實施例的真空涂布裝置。

圖8圖示根據一個或多個實施例的蒸發器單元。

圖9A和圖9B圖示蒸發源的蒸發束。

圖10圖示根據一個或多個實施例的彼此平行布置的兩個涂布滾筒的平面視圖。

為了促進理解，在可能的地方使用相同或相近的附圖標記來指示諸圖所共有的相同元件。在一個實施例中公開的元件被視為可有利地用于其他實施例而無需特定參照。

具體實施方式

本文所述的實施例可用于各種涂布工藝，諸如，卷筒紙料的涂布，所述卷筒紙料由布置在真空腔室內的至少一個涂布滾筒輸送。