[發明專利]蒸發單元和真空涂布裝置

有效

• 申請號: 201080070574.6
• 申請日: 2010-12-01
• 公開（公告）號: CN103249861A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: S·海恩;G·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種用于涂布卷筒紙料的真空涂布裝置，所述真空涂布裝置包含:

真空腔室(50);

第一可旋轉涂布滾筒(11)和第二可旋轉涂布滾筒(12)，所述第二涂布滾筒(12)與所述第一滾筒(11)平行設置，其中在所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間形成用于傳送至少一個卷筒紙料(15)的縫隙(17);

第一蒸發器(21)，所述第一蒸發器(21)包含用于產生第一蒸發束(31b)的至少一個蒸發源(21a)，所述第一蒸發器(21)緊靠所述第一涂布滾筒(11)布置;

第二蒸發器(22)，所述第二蒸發器(22)包含用于產生第二蒸發束(32b)的至少一個蒸發源(22a)，所述第二蒸發器(22)緊靠所述第二涂布滾筒(12)布置;

所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)相對于彼此傾斜。

2.如權利要求1所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)的每一個包含主要蒸發方向(31a、32a)，其中所述各自的主要蒸發方向(31a、32a)的幾何擴展在布置在所述縫隙(17)前方的點P處相交。

3.如權利要求1或2所述的真空涂布裝置，其中所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)被配置為傳送卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)，并且其中所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)相對于所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)布置，使得當從所述各自的蒸發器(21、22)的所述蒸發源(21a、Z2a)觀察時，所述縫隙(17)被所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的對應的一個隱藏在視野之外。

4.如權利要求1至3的任一項所述的真空涂布裝置，其中當沿連接所述第一涂布滾筒(11)的所述旋轉軸(11a)與所述第二涂布滾筒(12)的所述旋轉軸(12a)的假想連接線(13)測量時，所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的每一個具有半徑R，并且所述第一涂布滾筒與所述第二涂布滾筒(11、12)之間的所述縫隙(17)具有寬度D，其中所述比值R/D大于或等于15。

5.如權利要求1至4的任一項所述的真空涂布裝置，進一步包含相對于所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)布置在所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)后方的導輥(18)，所述導輥(18)用于引導所述卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)。

6.如權利要求1至5的任一項所述的真空涂布裝置，其中所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)經布置，使得所述第一蒸發束和所述第二蒸發束(31b、32b)形成布置在所述第一蒸發器和所述第二蒸發器(21、22)與所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)之間的共同沉積區域。

7.如權利要求6所述的真空涂布裝置，其中當在沿所述第一涂布滾筒和所述第二涂布滾筒(11、12)的所述軸(11a、12a)的投影中觀察時，所述共同沉積區域與由單個蒸發器形成的沉積區域相比具有更加均勻的蒸發材料分布。

8.如權利要求1至7的任一項所述的真空涂布裝置，被配置為由所述第一涂布滾筒(11)輸送第一卷筒紙料(15')穿過所述縫隙(17)，并且同時由所述第二涂布滾筒(12)輸送第二卷筒紙料(15)穿過所述縫隙(17)。