[發(fā)明專利]分面反射鏡裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080069330.6
• 申請日: 2010-07-28
• 公開（公告）號: CN103140782B
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J.哈特杰斯
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G02B5/09
• 分類號: G02B5/09;G02B5/08;G03F7/20;G02B7/182
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種分面反射鏡裝置，其包含：

-分面元件，和

-支撐元件；

-所述支撐元件支撐所述分面元件；

-所述分面元件包含彎曲的第一支撐部分；

-所述支撐元件包含第二支撐部分；

-所述第二支撐部分形成支撐邊緣，該支撐邊緣限定大體線形接觸區(qū)域，以支撐所述分面元件，其中，所述支撐邊緣形成于在所述支撐元件內(nèi)界定凹槽的壁的末端與所述支撐元件的平面上表面的相交處，所述平面上表面面向所述分面元件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，滿足以下中的至少一項：

-所述第一支撐部分具有第一曲率，并且所述第二支撐部分具有第二曲率，所述第二曲率對應(yīng)于所述第一曲率，使得在所述支撐邊緣和所述分面元件之間大體存在線接觸；以及

-所述支撐邊緣由至少一個邊緣區(qū)段形成；以及

-所述第一支撐部分在所述接觸區(qū)域中具有球面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，滿足以下中的至少一項：

-所述第一支撐部分具有第一曲率，并且所述第二支撐部分具有第二曲率，所述第二曲率對應(yīng)于所述第一曲率，使得在所述支撐邊緣和所述分面元件之間大體存在線接觸；以及

-所述支撐邊緣為連續(xù)的環(huán)形邊緣；以及

-所述第一支撐部分在所述接觸區(qū)域中具有球面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，

-通過粘性接合將所述分面元件連接至所述支撐元件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的分面反射鏡裝置，其中，

-經(jīng)由與所述支撐邊緣相鄰的接合材料，將所述分面元件連接至所述支撐元件。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分面反射鏡裝置，其中，

-在所述支撐邊緣和所述第一支撐部分之間的接觸區(qū)域中，將所述分面元件粘連地連接至所述支撐元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的分面反射鏡裝置，其中，

-通過膠合接合技術(shù)，將所述分面元件連接至所述支撐元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，

-通過選自焊接、熔接、擴散接合的至少一種接合技術(shù)，將所述分面元件連接至所述支撐元件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分面反射鏡裝置，其中，

-通過選自激光焊接和激光熔接的至少一種接合技術(shù)，將所述分面元件連接至所述支撐元件。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分面反射鏡裝置，其中，滿足以下中的至少一項：

-所述接合材料的至少大部分位于所述支撐邊緣的背離所述凹槽的一側(cè)；以及

-所述接合材料密封所述分面元件和所述支撐元件之間的間隙。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，滿足以下中的至少一項：

-所述支撐邊緣為銳利的邊緣，該銳利的邊緣限定最小邊緣曲率半徑，所述最小邊緣曲率半徑小于3mm，以及

-以制造精度制造所述支撐邊緣和所述分面元件，所述制造精度被選擇為使得在所述支撐邊緣的任意邊緣點上，所述支撐邊緣和所述分面元件之間的與制造公差相關(guān)的間隙的寬度小于10μm。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分面反射鏡裝置，其中，滿足以下中的至少一項：

-所述支撐邊緣為銳利的邊緣，該銳利的邊緣限定最小邊緣曲率半徑，所述最小邊緣曲率半徑小于0.5mm，以及

-以制造精度制造所述支撐邊緣和所述分面元件，所述制造精度被選擇為使得在所述支撐邊緣的任意邊緣點上，所述支撐邊緣和所述分面元件之間的與制造公差相關(guān)的間隙的寬度小于0.5μm。