[發明專利]基片輸送設備以及用于制造電子裝置的系統和方法

有效

• 申請號: 201080068599.2
• 申請日: 2010-08-17
• 公開（公告）號: CN103069559A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 渡邊和人;田代征仁;中村聰史;小日向大輔;佐佐木俊秋;野澤直之
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J9/06
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 蔣旭榮

技術領域

本發明涉及一種基片輸送設備，以及一種用于制造電子裝置的系統和方法。

背景技術

下面將參考圖7A和7B介紹普通基片輸送設備的結構實例。普通的基片輸送設備包括臂單元，該臂單元能夠將驅動源的旋轉運動轉變成直線運動。臂單元包括兩個基片保持器，這兩個基片保持器豎直（沿Z方向）對齊，它們分別用作第一基片保持器701和第二基片保持器702。

例如，預定處理在特定處理腔室中完成，同時未處理的基片安裝在第二基片保持器702上。基片輸送設備朝著處理腔室旋轉，以便收回處理后的基片。第一基片保持器701（沒有基片安裝在該第一基片保持器701上）朝著處理腔室運動（圖7A），接收在處理腔室中的處理后基片，并使得第一基片保持器701返回后退位置（圖7B）。

為了防止在沒有可靠輸送處理后基片的情況下連續進行下一個處理時可能產生的問題，普通的基片輸送設備在基片交換操作之前和之后使用傳感器來檢測基片的存在/不存在。根據該檢測結果來決定基片是否已經可靠輸送給處理腔室。在收回處理后的基片時，首先，基片輸送設備利用傳感器來確認是否在用于基片收回的基片保持器上沒有基片，并在確認在該基片保持器上沒有基片之后使得基片保持器朝著處理腔室運動（見PTL1和PTL2）

引用專利文獻

PTL1：日本PCT國家公開文獻No.11-514303

PTL2：日本專利公開No.11-207666

發明內容

技術問題

不過，當沿Z方向從頂部觀察在PTL1中公開的基片輸送設備時，第一基片保持器701和第二基片保持器702相互交疊。當基片保持在第一基片保持器701上時，在位于第一基片保持器701下面的第二基片保持器702上的另一基片不能沿Z方向豎直地從上面看見。還有，當基片保持在第二基片保持器702上時，在位于第二基片保持器702上面的第一基片保持器701上的另一基片不能沿Z方向豎直地從下面看見。

作為能夠檢測沿Z方向相互交疊的基片保持器上的基片存在/不存在的措施，能夠從斜向捕獲基片保持器的圖像，并使用高分辨率和高成本的CCD傳感器和圖像處理設備來檢測基片。這種措施不僅提高了基片輸送設備的成本，還延長了基片輸送設備的生產節拍時間，因為它需要進行圖像處理，并根據圖像處理結果來確定基片的存在/不存在。

作為能夠檢測基片的存在/不存在的另一措施，能夠采用使得任意一個基片保持器豎直地從上面（或下面）特意前進/后退至能夠檢測的位置的操作步驟。在這種措施中，基片輸送設備的工作節拍也延長，因為增加了使得任意一個基片保持器前進/后退的操作步驟。

能夠使用傳感器來監測機器人臂的結構（PTL2）需要具有特定形狀的部件（凸臺部件）。在機器人臂的輸送操作中，也需要使得臂的形狀彎曲，以防止機器人臂與凸臺部件干涉，從而導致增加基片輸送設備的成本。

解決問題的方案

本發明考慮到上述問題，且本發明的目的是提供一種基片輸送技術，它能夠高效檢測基片是否保持在多個基片保持器的每一個上。

根據本發明的一個方面，提供了一種基片輸送設備，它包括：

第一基片保持器和第二基片保持器，該第一基片保持器和第二基片保持器能夠各自保持基片；

兩個第一從動臂，各第一從動臂的一端與第一基片保持器連接；

兩個第二從動臂，各第二從動臂的一端與第二基片保持器連接；

第一驅動臂，兩個第一從動臂中的一個和兩個第二從動臂中的一個與該第一驅動臂連接；

第二驅動臂，兩個第一從動臂中的另一個和兩個第二從動臂中的另一個與該第二驅動臂連接；

第一驅動軸，第一驅動臂與該第一驅動軸能旋轉地連接；以及

第二驅動軸，該第二驅動軸與該第一驅動軸同軸，且第二驅動臂獨立于第一驅動軸與該第二驅動軸能旋轉地連接；

其中，第一驅動臂包括：第一連接部分，兩個第一從動臂中的一個的另一端與該第一連接部分連接；以及第二連接部分，兩個第二從動臂中的一個的另一端與該第二連接部分連接；以及

第二驅動臂，包括：第三連接部分，兩個第一從動臂中的另一個的另一端與該第三連接部分連接；以及第四連接部分，兩個第二從動臂中的另一個的另一端與該第四連接部分連接；

由使得第一連接部分和第二連接部分相互連接的直線確定的第一方向軸線與第一驅動軸的旋轉軸線間隔開第一距離；以及

由使得第三連接部分和第四連接部分相互連接的直線確定的第二方向軸線與第二驅動軸的旋轉軸線間隔開第二距離。