[發明專利]探針

有效

• 申請號: 201080067768.0
• 申請日: 2010-09-10
• 公開（公告）號: CN102971842A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 李彩允
• 申請（專利權）人: 李諾工業有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 楊娟奕

1.一種探針，所述探針電連接半導體裝置和用于測試半導體裝置的測試器，所述探針包括：

上柱塞，所述上柱塞被構造成電連接到所述半導體裝置；

下柱塞，所述下柱塞被構造成電連接到所述測試器；

彈性構件，所述彈性構件設置在所述上柱塞與所述下柱塞之間，并且彈性地偏壓所述上柱塞和所述下柱塞以使所述上柱塞和所述下柱塞彼此分隔開；

導電構件，所述導電構件設置在所述彈性構件的內部或外部中并電連接所述上柱塞和所述下柱塞；和

桶狀部，在所述桶狀部中容納所述上柱塞、所述下柱塞、所述彈性構件和所述導電構件。

2.根據權利要求1所述的探針，其中，所述導電構件只有當所述上柱塞和所述下柱塞中的至少一個朝向所述上柱塞和所述下柱塞中的另一個移動時才電連接所述上柱塞和所述下柱塞。

3.根據權利要求1所述的探針，其中，所述導電構件選擇性地接觸所述上柱塞和所述下柱塞中的至少一個。

4.根據權利要求3所述的探針，其中，所述導電構件將彈性力施加到所述上柱塞和所述下柱塞中的至少一個以使所述上柱塞和所述下柱塞彼此分隔開。

5.根據權利要求4所述的探針，其中，所述導電構件包括導電卷簧和導電橡膠中的至少一個。