[發(fā)明專利]印刷布線板的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080065590.6
• 申請日: 2010-12-07
• 公開（公告）號: CN102812787A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 渡邊裕人;小川泰司;友永崇臣
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社藤倉
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06;G01B11/02;H05K3/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;王軼

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及包含蝕刻工序的印刷布線板的制造方法。

對于認(rèn)可基于文獻(xiàn)參照的引用的指定國，通過參照將2010年3月23日向日本國提出的特愿2010-065908號中所記載的內(nèi)容引用于本說明書中來構(gòu)成本說明書記載的一部分。

背景技術(shù)

在基于卷對卷（R-R）方式的連續(xù)制造工序中，在形成布線圖案的蝕刻工序后連續(xù)地進(jìn)行端子鍍敷處理工序、精加工工序以及切割工序等。然后，在這些所有的工序結(jié)束后，檢查完成后的印刷布線板的布線寬度。

關(guān)于這種布線寬度的檢查方法，公知有向布線圖案照射激光與電磁波，利用反射光與熒光X射線來計測布線圖案的基部（銅箔與基材的邊界）的寬度的方法（專利文獻(xiàn)1）。

由于形成于印刷布線板的布線圖案的線寬會受到蝕刻處理的影響，因此當(dāng)檢測出線寬存在異常時，討論當(dāng)時的蝕刻條件是否合適，然后修正要執(zhí)行的蝕刻條件。

專利文獻(xiàn)1：日本特公平7-104138號公報

發(fā)明內(nèi)容

但是，對于現(xiàn)有的制造方法而言，由于在印刷布線板完成后進(jìn)行布線寬度的計測，因此存在從蝕刻處理結(jié)束時到布線寬度的計測時為止要花費(fèi)時間，會延遲進(jìn)行蝕刻條件是否合適的判斷以及蝕刻條件的修正，所以生產(chǎn)成品率低下這一問題。

本發(fā)明要解決的課題在于提供一種能夠通過縮短從蝕刻處理結(jié)束時到布線寬度計測時為止的時間，迅速地進(jìn)行蝕刻條件的修正來抑制生產(chǎn)成品率的降低的印刷布線板的制造方法。

本發(fā)明通過提供一種印刷布線板的制造方法來解決上述課題，其中，該印刷布線板的制造方法包括：蝕刻工序，準(zhǔn)備在規(guī)定方向上延伸，在絕緣層的主面上形成有導(dǎo)電層的覆導(dǎo)體基材，對所述覆導(dǎo)體基材的一個主面的導(dǎo)體層的規(guī)定區(qū)域進(jìn)行蝕刻處理來形成作為產(chǎn)品的布線圖案和用于檢查的檢查圖案；計測工序，在所述蝕刻工序之后計測所述檢查圖案的線寬；以及控制工序，基于所述計測出的線寬來控制所述蝕刻條件。

在上述發(fā)明中，可以是所述控制工序基于所述計測出的線寬，參照將所述線寬與所述蝕刻工序中的蝕刻條件預(yù)先建立對應(yīng)后的對應(yīng)信息來控制所述蝕刻條件。

在上述發(fā)明中，可以是所述檢查圖案構(gòu)成為沿著所述規(guī)定方向相互平行的規(guī)定線寬的多個線狀圖案。

在上述發(fā)明中，可以是所述檢查圖案構(gòu)成為3個以上的線狀圖案。

在上述發(fā)明中，可以是當(dāng)所述多個線狀圖案的各線寬的差小于規(guī)定值時，所述控制工序基于該多個線狀圖案的線寬來控制所述蝕刻條件，當(dāng)所述多個線狀圖案的各線寬的差在規(guī)定值以上時，所述控制工序判斷為該多個線狀圖案不是所述檢查圖案，并中止基于該多個線狀圖案的線寬的所述蝕刻條件的控制。

在上述發(fā)明中，可以是所述檢查圖案包含與所述規(guī)定方向大致垂直的方向的位置不同的檢查圖案，所述控制工序基于在所述計測工序中計測出的各個檢查圖案的線寬，控制與各個檢查圖案對應(yīng)的蝕刻條件。

在上述發(fā)明中，可以是所述計測工序在從所述覆導(dǎo)體基材的另一個主面?zhèn)日丈涔獾臓顟B(tài)下，從所述覆導(dǎo)體基材的一個主面?zhèn)扰臄z所述檢查圖案，并基于該拍攝到的圖像來計測所述檢查圖案的線寬。

在上述發(fā)明中，可以是所述計測工序從所述覆導(dǎo)體基材的一個主面?zhèn)认蛩鰴z查圖案照射激光，并基于該激光的透射光來計測所述檢查圖案的線寬。

根據(jù)本發(fā)明，基于在蝕刻工序后計測出的布線圖案和在同一蝕刻條件下形成的檢查圖案的線寬來控制蝕刻條件，因此能夠在蝕刻工序后立刻就進(jìn)行線寬的計測與蝕刻條件的修正。其結(jié)果，能夠抑制蝕刻條件的不良所導(dǎo)致的生產(chǎn)成品率的降低。

附圖說明

圖1是表示應(yīng)用了本發(fā)明的實施方式的印刷布線板的制造方法的印刷布線板的制造裝置的側(cè)視圖。

圖2是應(yīng)用了本發(fā)明的實施方式的印刷布線板的制造方法的覆導(dǎo)體基材的俯視圖。

圖3是表示圖1所示的印刷布線板的制造裝置的另一例的圖。

圖4是表示在本發(fā)明的實施方式的印刷布線板的制造方法中使用的對應(yīng)信息的一個例子的圖。

具體實施方式

以下，基于附圖對本發(fā)明的本實施方式的印刷布線板的制造方法進(jìn)行說明。

本發(fā)明的實施方式的印刷布線板的制造方法包含蝕刻前處理工序、蝕刻工序（包含蝕刻條件的控制工序）、蝕刻后處理工序、計測工序和精加工工序。