[發(fā)明專利]印刷布線板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080065590.6
• 申請(qǐng)日: 2010-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN102812787A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡邊裕人;小川泰司;友永崇臣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社藤倉(cāng)
• 主分類號(hào): H05K3/06
• 分類號(hào): H05K3/06;G01B11/02;H05K3/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;王軼

1.一種印刷布線板的制造方法，具有：

蝕刻工序，準(zhǔn)備在規(guī)定方向上延伸，在絕緣層的主面上形成有導(dǎo)電層的覆導(dǎo)體基材，對(duì)所述覆導(dǎo)體基材的一個(gè)主面的導(dǎo)體層的規(guī)定區(qū)域進(jìn)行蝕刻處理來形成作為產(chǎn)品的布線圖案和用于檢查的檢查圖案；

計(jì)測(cè)工序，在所述蝕刻工序后計(jì)測(cè)所述檢查圖案的線寬；以及

控制工序，基于所述計(jì)測(cè)出的線寬來控制所述蝕刻條件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

所述控制工序參照將所述檢查圖案的線寬與所述蝕刻工序中的蝕刻條件預(yù)先建立對(duì)應(yīng)后的對(duì)應(yīng)信息，基于所述計(jì)測(cè)出的線寬來控制所述蝕刻條件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

所述檢查圖案是沿著所述規(guī)定方向相互平行的規(guī)定線寬的多個(gè)線狀圖案。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

所述檢查圖案是3個(gè)以上的線狀圖案。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

當(dāng)所述多個(gè)線狀圖案的各線寬的差小于規(guī)定值時(shí)，所述控制工序基于該多個(gè)線狀圖案的線寬來控制所述蝕刻條件，當(dāng)所述多個(gè)線狀圖案的各線寬的差在所述規(guī)定值以上時(shí)，所述控制工序判斷為該多個(gè)線狀圖案不是所述檢查圖案，并中止基于該多個(gè)線狀圖案的線寬的所述蝕刻條件的控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷布線板的制造方法，其中，

所述檢查圖案包含與所述規(guī)定方向大致垂直的方向的位置不同的檢查圖案，

所述控制工序基于在所述計(jì)測(cè)工序中計(jì)測(cè)出的各個(gè)檢查圖案的線寬來控制與各個(gè)檢查圖案對(duì)應(yīng)的蝕刻條件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

所述計(jì)測(cè)工序在從所述覆導(dǎo)體基材的另一個(gè)主面?zhèn)日丈涔獾臓顟B(tài)下，從所述覆導(dǎo)體基材的一個(gè)主面?zhèn)扰臄z所述檢查圖案，并基于該拍攝到的圖像來計(jì)測(cè)所述檢查圖案的線寬。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷布線板的制造方法，其特征在于，

所述計(jì)測(cè)工序從所述覆導(dǎo)體基材的一個(gè)主面?zhèn)认蛩鰴z查圖案照射激光，并基于該激光的透射光來計(jì)測(cè)所述檢查圖案的線寬。