[發(fā)明專利]用于激光系統(tǒng)的聚焦物鏡的能移動的重量補償懸架的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080065117.8
• 申請日: 2010-03-03
• 公開（公告）號: CN102834755A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 格哈德·羅布
• 申請（專利權(quán)）人: 威孚萊有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;A61B18/20;A61F9/008
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 李文穎;羅正云

1.一種用于激光系統(tǒng)（10）的聚焦物鏡（12）的能移動的重量補償懸架的裝置，包括：

-力產(chǎn)生裝置，該力產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生抵消所述聚焦物鏡（12）的重量的反作用力分量

-傳動裝置，該傳動裝置將所述反作用力分量傳遞到所述聚焦物鏡（12）上并允許所述聚焦物鏡的向上/向下補償運動；和

-引導(dǎo)裝置，該引導(dǎo)裝置用于能移動地引導(dǎo)所述聚焦物鏡，以使在所述聚焦物鏡（12）的向上/向下補償運動的情況下，所述聚焦物鏡的光學(xué)軸線（O）至少保持其在空間的方位并優(yōu)選地保持其在空間的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述力產(chǎn)生裝置包括配重（16），該配重（16）的質(zhì)量用于產(chǎn)生至少部分所述反作用力分量，特別地產(chǎn)生全部所述反作用力分量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中所述傳動裝置為搖桿的形式，所述反作用力分量作用在所述搖桿的一側(cè)上，所述聚焦物鏡（12）的至少部分重量，特別地全部重量，作用在所述搖桿的另一側(cè)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述力產(chǎn)生裝置在所述搖桿上的至少一個力作用點（K）與所述搖桿的轉(zhuǎn)動軸線（X）的距離能被調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的裝置，其中所述聚焦物鏡（12）被支撐在所述搖桿上，以使所述聚焦物鏡（12）能圍繞在一定距離處的平行于所述搖桿的轉(zhuǎn)動軸線（X）延伸的旋轉(zhuǎn)軸線相對于所述搖桿旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述聚焦物鏡（12）以距所述搖桿的所述轉(zhuǎn)動軸線（X）能變化的距離支撐在所述搖桿上。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述引導(dǎo)裝置為直線引導(dǎo)件形式，具有平行于所述聚焦物鏡（12）的所述光學(xué)軸線（O）的引導(dǎo)方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中所述引導(dǎo)裝置具有在所述聚焦物鏡的向上/向下補償運動的情況下阻止所述聚焦物鏡橫切所述光學(xué)軸線（O）的運動的引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

9.一種激光系統(tǒng)（10），包括：

-激光輻射源，優(yōu)選為脈沖激光輻射；

-聚焦物鏡（12），該聚焦物鏡用于使所述激光輻射聚焦，所述聚焦物鏡具有光學(xué)軸線（O）；

-接口單元，該接口單元被布置在所述聚焦物鏡的輻射出口側(cè)上，并優(yōu)選為被能分離地聯(lián)接到所述聚焦物鏡，所述接口單元具有對于所述激光輻射能穿透的接觸元件，所述接觸元件放置在將使用所述激光輻射在其上工作的對象上。

-用于所述聚焦物鏡的能移動的重量補償懸架的裝置，特別地為根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的形式，該裝置具有含有兩個搖桿臂的搖桿，所述搖桿被支撐在所述激光系統(tǒng)的殼體構(gòu)件上以使所述搖桿能圍繞搖桿軸線（X）被轉(zhuǎn)動，所述聚焦物鏡被支撐在所述搖桿臂中的一個上以使所述聚焦物鏡能圍繞平行于所述搖桿軸線的轉(zhuǎn)動軸線相對于所述搖桿旋轉(zhuǎn)，用于產(chǎn)生反作用力分量的配重（16）附接在另一搖桿臂上，所述反作用力分量補償所述聚焦物鏡的至少大部分的重量，所述裝置還具有用于沿所述聚焦物鏡的所述光學(xué)軸線能直線移動地引導(dǎo)所述聚焦物鏡的引導(dǎo)系統(tǒng)。