[發明專利]用于將布置在襯底上的層結構化的方法和設備

無效

• 申請號: 201080062130.8
• 申請日: 2010-12-29
• 公開（公告）號: CN102714919A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 霍爾格·阿爾貝特·烏蘭
• 申請（專利權）人: 歐-弗萊克斯科技有限公司
• 主分類號: H05K3/04
• 分類號: H05K3/04;B23C1/04;B44B3/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊靖;車文

1.用于將布置在襯底（1）上的層（2）結構化為多個彼此分離的區域（4）的方法，其中，

-所述層（2）在彼此待分離的區域（4）之間借助至少兩個切削工具（5、18）來切除，

-所述襯底（1）在與所述切削工具（5、18）對置的側上放在表面（10）上，

-所述切削工具（5、18）以如下程度地向所述表面（10）方向并且相對于所述層（2）在所述層的平面中運動，即，使得所述層（2）在所述彼此待分離的區域（4）之間被完全地切除，并且

-所述切削工具（5、18）中的至少一個切削工具在待切除的所述層的所述平面中的相對運動通過所述襯底（1）在運動方向（11）上的定向的運動來產生，

其特征在于，

-所述切削工具中的至少一個切削工具（18）在待切除的所述層（2）的所述平面中的相對運動借助定位系統（20）通過如下方式來產生，即，所述至少一個切削工具（18）橫向于所述襯底（1）的所述運動方向來運動，其中，橫向于所述襯底（1）的所述運動方向（11）運動的切削工具（18）由所述定位系統（20）以如所述襯底（1）那樣一致的速度和運動方向（11）來運動，

并且，

-去除已切除的材料。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將所述襯底（1）引導經過所述表面（10）。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，使用柔性襯底（1）。

4.根據權利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，在所述結構化之前將所述層（2）作為牢固粘貼的覆層施布在所述襯底（1）上。

5.根據權利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，將待結構化的所述層（2）作為膜施布在所述襯底（1）上。

6.根據權利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，使用旋轉的切削工具（5、18）。

7.用于執行根據權利要求2至6之一所述的方法的設備，其特征在于，

-所述設備（8）具有至少一個帶有表面（10）的位置固定的定位裝置（9、17），襯底（1）能夠在運動方向（11）上引導經過所述表面，

-所述設備具有用于切除布置在所述襯底（1）上的層（2）的至少兩個切削工具（5、18），

-每個切削工具（5、18）布置在定位系統（13）上，利用所述定位系統，所述切削工具（5、18）能夠至少向所述定位裝置（9、17）的所述表面（10）方向或由所述定位裝置的所述表面（10）遠離地運動，

-所述切削工具中的至少一個切削工具（18）布置在為多軸線的線性系統的定位系統（20）上，沿著其軸線（21、22、23），所述至少一個切削工具（18）能夠向所述定位裝置（9、17）的所述表面（10）方向或由所述定位裝置的所述表面遠離地并且平行于所述定位裝置的所述表面地運動。

8.根據權利要求7所述的設備，其特征在于，

-所述切削工具（18）能夠沿著所述多軸線的線性系統的z軸線（23）向所述定位裝置（9、17）的所述表面（10）方向或由所述定位裝置的所述表面（10）遠離地運動，

-所述切削工具（18）能夠沿著所述多軸線的線性系統的Y軸線（21）橫向于所述襯底（1）的所述運動方向（11）運動，以及

-所述切削工具（18）能夠沿著所述多軸線的線性系統的X軸線（21）平行于所述襯底（1）的所述運動方向（11）運動。

9.根據權利要求7或8所述的設備，其特征在于，旋轉的切削工具（5、18）與轉動驅動裝置連接。

10.根據權利要求9所述的設備，其特征在于，多個旋轉的切削工具（5）彼此間距地布置在共同的驅動軸（12）上。