[發明專利]輸送車系統

無效

• 申請號: 201080060790.2
• 申請日: 2010-10-08
• 公開（公告）號: CN102753458A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 山本真;德本光哉
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00;H01L21/677
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王成坤;胡建新

技術領域

本發明涉及輸送車系統，特別涉及輸送車輸送內部收納有多塊基板的容器的輸送車系統。

背景技術

以往，已知有具有預先設定的路徑、設置在路徑上的多個車站及沿著路徑行走而輸送物品的多個輸送車的輸送車系統。在輸送車系統中，在車站與輸送車之間進行貨物抓起（將物品從車站裝入到輸送車上）或貨物放下（將物品從輸送車卸出到車站上）。

作為輸送車系統的代表例，已知有在半導體工廠的輸送系統中使用的橋式行走車（over?head?traveling?vehicle）系統。橋式行走車系統由設置在天花板上的軌道和能夠沿著軌道行走的橋式行走車構成。橋式行走車主要具有卡合在軌道上的行走部、能夠保持積載了半導體晶片的FOUP的保持部及用來使保持部上下移動的移動機構。

還已知有用來移載半導體晶片或液晶玻璃的地上輸送車。地上輸送車具有車體主體及移載裝置。移載裝置例如由移載臂、基臺、轉臺（turn?table）及移載臂構成（例如，參照專利文獻1）。

在專利文獻1記載的地上輸送車中，在構成移載臂的移載手（ハンド）上設置測量傳感器（マツピングセンサ）。測量傳感器通過探知緩沖搬運器內的各槽，檢測晶片是否配置在各槽。

現有技術文獻（專利文獻）

專利文獻1：日本特開2003-168718號公報

發明內容

發明所要解決的課題

在輸送車系統中，輸送車在處理裝置、儲料器間輸送內部收納有晶片的搬運器（キヤリア）。在這種情況下，在輸送中有時發生搬運器傾斜從而內部的晶片在貨架上傾斜或從槽脫落等不良狀況。另外，當在處理裝置中將晶片收納在搬運器時，晶片有時會從槽的標準的位置偏離。若輸送產生了這種不良狀況的狀態的搬運器，則該輸送本身是徒勞的，所以輸送效率降低。

本發明的課題在于，在輸送車系統中輸送效率不降低。

用來解決課題的手段

以下，作為用來解決課題的手段，說明多種方式。這些方式能夠根據需要任意組合。

本發明所涉及的輸送車系統具備輸送車、狀態檢測裝置及輸送控，制部。輸送車在多個裝置間輸送裝入了基板的容器。狀態檢測裝置檢測容器內的基板的狀態。輸送控制部控制輸送車的輸送，并且如果從狀態檢測裝置輸入異常信號，則中止將容器輸送至目的地。

在該系統中，輸送車在裝置間輸送容器。但是若容器內的基板的狀態變為異常，中止輸送車將容器輸送至目的地。由此，沒有徒勞的輸送作業，其結果是，輸送車系統的輸送效率難以降低。

狀態檢測裝置可以在輸送車開始向目的地輸送容器之前，檢測容器內的基板的狀態。在這種情況下，如果在容器向目的地輸送開始之前從狀態檢測裝置輸入異常信號，輸送控制部中止向目的地輸送容器。

在該系統中，沒有徒勞的輸送作業，其結果是，輸送車系統的輸送效率難以降低。

輸送控制部如果從狀態檢測裝置輸入異常信號，則可以使輸送車從裝置向異常處理裝置或檢查裝置輸送容器。

在該系統中，直接應對或檢查容器內的基板的異常。

裝置是對基板實施處理的基板處理裝置，輸送控制部如果從狀態檢測裝置輸入異常信號，則可以使輸送車從基板處理裝置搬出容器。

在這種情況下，無論正常還是異常，都從基板處理裝置搬出容器。因此，基板處理裝置的運轉率變高。

輸送車系統可以還包括附設于裝置的裝置附近自動倉庫。在這種情況下，在輸送車將容器從裝置附近自動倉庫搬出到下一工序的裝置時，狀態檢測裝置檢測容器內的基板的狀態。

在該系統中，如果在輸送車將容器從裝置附近自動倉庫搬出到下一工序的裝置時容器內的基板的狀態為異常，就中止輸送車向目的裝置輸送容器。由此，沒有徒勞的輸送作業，其結果是，輸送車系統的輸送效率難以降低。

狀態檢測裝置可以設置于裝置附近自動倉庫的出庫口。在此情況下，狀態檢測裝置檢測放置于出庫口的容器內的基板的狀態。

狀態檢測裝置可以設置于裝置附近自動倉庫的內部。在此情況下，狀態檢測裝置檢測從裝置出來后的容器內的基板的狀態。

輸送車系統可以還包括沿輸送車的路徑配置并且能夠暫時放置容器的緩沖區。在這種情況下，狀態檢測裝置設置于緩沖區，并在緩沖區檢測容器內的基板的狀態。

在該系統中，如果在輸送車從緩沖區向遠離的裝置搬出容器時容器內的基板的狀態為異常，輸送車中止之后的容器的輸送。由此，沒有徒勞的輸送作業，其結果是，輸送車系統的輸送效率難以降低。