[發明專利]輸送車系統

無效

• 申請號: 201080060790.2
• 申請日: 2010-10-08
• 公開（公告）號: CN102753458A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 山本真;德本光哉
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00;H01L21/677
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王成坤;胡建新

1.一種輸送車系統，包括：

輸送車，用來在多個裝置間輸送裝入了基板的容器；

狀態檢測裝置，用來檢測所述容器內的所述基板的狀態；以及

輸送控制部，控制所述輸送車的輸送，并且如果從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，就中止向目的地輸送所述容器。

2.根據權利要求1所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置在所述輸送車開始向目的地輸送所述容器之前，檢測所述容器內的基板的狀態，

如果在所述輸送車開始向目的地輸送所述容器之前從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，所述輸送控制部就中止向目的地輸送所述容器。

3.根據權利要求2所述的輸送車系統，其中，

如果從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，所述輸送控制部就使所述輸送車從所述裝置向異常處理裝置或檢查裝置輸送所述容器。

4.根據權利要求2所述的輸送車系統，其中，

所述裝置是對所述基板實施處理的基板處理裝置，

如果從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，所述輸送控制部就使所述輸送車從所述基板處理裝置搬出。

5.根據權利要求3所述的輸送車系統，其中，

所述裝置是對所述基板實施處理的基板處理裝置，

如果從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，所述輸送控制部就使所述輸送車從所述基板處理裝置搬出所述容器。

6.根據權利要求2所述的輸送車系統，還包括：

附設于所述裝置的裝置附近自動倉庫，

在所述輸送車將所述容器從所述裝置附近自動倉庫搬出到下一工序的裝置時，所述狀態檢測裝置檢測所述容器內的所述基板的狀態。

7.根據權利要求6所述的輸送車系統，其中，

如果從所述狀態檢測裝置輸入異常信號，所述輸送控制部就使所述輸送車從所述裝置向異常處理裝置或檢查裝置輸送所述容器。

8.根據權利要求6所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置設置于所述裝置附近自動倉庫的出庫口，

所述狀態檢測裝置檢測放置于所述出庫口的所述容器內的所述基板的狀態。

9.根據權利要求7所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置設置于所述裝置附近自動倉庫的出庫口，

所述狀態檢測裝置檢測放置于所述出庫口的所述容器內的所述基板的狀態。

10.根據權利要求6所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置設置于所述裝置附近自動倉庫的內部，

所述狀態檢測裝置檢測所述容器從裝置出來后的所述容器內的所述基板的狀態。

11.根據權利要求7所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置設置于所述裝置附近自動倉庫的內部，

所述狀態檢測裝置檢測所述容器從裝置出來后的所述容器內的所述基板的狀態。

12.根據權利要求2所述的輸送車系統，還包括：

沿所述輸送車的路徑配置并且能夠暫時放置所述容器的緩沖區，

所述狀態檢測裝置設置于所述緩沖區，在所述緩沖區檢測所述容器內的所述基板的狀態。

13.根據權利要求2所述的輸送車系統，還包括：

沿所述輸送車的路徑配置的路徑配置自動倉庫，

所述狀態檢測裝置設置于所述路徑配置自動倉庫，在所述路徑配置自動倉庫檢測所述容器內的所述基板的狀態。

14.根據權利要求2所述的輸送車系統，其中，

所述狀態檢測裝置設置于所述輸送車，檢測由所述輸送車輸送的所述容器內的所述基板的狀態。