[發明專利]驅動裝置及輸送裝置

有效

• 申請號: 201080059894.1
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN102686367A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 中尾裕利;西辻宗芳;吉野孝広;栗山拓彌;千葉泰司;川久保大輔;山田清隆
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: B25J9/06
• 分類號: B25J9/06;B65G49/07;H01L21/677
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 蔣雅潔;孟桂超

技術領域

本發明涉及一種輸送半導體基板或玻璃基板等的輸送裝置，及用于該輸送裝置的驅動裝置。

背景技術

在半導體制造領域等中有一種輸送裝置，該輸送裝置具有多關節臂，是用于在真空或者工藝氣體氛圍等中，輸送晶片、玻璃基板等的輸送對象的輸送手段。這種輸送裝置通過使臂伸縮或者回轉，從而將臂的前端移動至任意位置并對輸送對象進行輸送。所述臂利用水平方向的旋轉動力在水平方向上進行伸縮或者回轉，并在垂直方向上升降，從而可以進行三維移動。在這種情況下，對臂進行驅動的驅動部需要具有這樣兩種機構：生成水平方向的旋轉動力的機構和在垂直方向上升降的機構。

例如，專利文獻1所述的輸送裝置具有容納驅動部的主要部分的盒體和容納于所述盒體內的驅動部支撐框架。所述驅動部支撐框架支撐用于使臂等伸縮及旋轉的多個電動機等。所述驅動部支撐框架通過配置于盒體底部的電動機，經由滾珠絲杠機構，沿設置于垂直方向的線性導軌，在盒體內升降。通過使驅動部支撐框架升降，從而使得整個臂發生升降(例如，參考專利文獻1的段落[0016]、圖1)。

在盒體的上部連接有基板，所述基板設置于形成于真空環境下的基臺(固定部)的開口部。即，驅動部支撐于所述基板以使得從形成于基臺的開口部開始懸掛輸送裝置(的驅動部)。

現有技術文件

專利文件

專利文件1：日本特開2008-135630號公報

發明內容

在這樣的輸送裝置中，在對臂進行驅動時由于驅動部向臂所施加的力產生反作用力而施加于所述驅動部支撐框架及盒體，因此，在所述驅動部支撐框架或盒體上產生應力。尤其是，在驅動所述臂回轉時，盒體中的軸被施加垂直方向上的旋轉力，并在與基板的連接部分處產生切應力。其結果，盒體的該連接部分可能發生扭轉或連接部分可能發生破損。

鑒于以上情況，本發明的目的在于提供一種剛性高的驅動裝置及具有該驅動裝置的輸送裝置，所述驅動裝置及驅動裝置能耐受由于在驅動臂單元時產生的反作用而施加的應力。

為了達到上述目的，本發明的實施方式涉及的驅動裝置配置在具有分隔壁的腔內，且驅動可對輸送對象進行輸送的輸送體，所述驅動裝置具有致動器和框架。

其中，所述致動器驅動所述輸送體。

所述框架一體成型地形成，并連接至所述腔的所述分隔壁，且安裝有所述致動器。

本發明的實施方式涉及的輸送裝置具有輸送體、致動器和框架。

其中，所述輸送體配置于具有分隔壁的腔內，且可對輸送對象進行輸送。

所述致動器驅動輸送體。

所述框架一體成型地形成，并連接至所述腔的所述分隔壁，且安裝有所述致動器。

附圖說明

圖1是表示本發明第一實施方式涉及的輸送裝置的立體圖；

圖2是表示適用于第一實施方式涉及的輸送裝置的團簇式真空處理裝置的平面示意圖；

圖3是表示第一實施方式涉及的輸送裝置的驅動單元的立體圖；

圖4是表示第一實施方式涉及的驅動單元的平面圖；

圖5是表示第一實施方式涉及的驅動單元的框架的立體圖；

圖6是表示第一實施方式涉及的框架的平面圖；

圖7是表示第一實施方式涉及的驅動單元的致動器的立體圖；

圖8是表示圖4所示的沿A-A線的剖視示意圖；

圖9是表示第一實施方式涉及的支撐基座的平面圖；

圖10是表示第一實施方式涉及的支撐基座的底視圖；

圖11是表示第一實施方式涉及的回轉塊內的結構的剖視示意圖；

圖12是表示第一實施方式涉及的回轉塊內的齒輪的卡合狀態的平面圖；

圖13是表示本發明的第二實施方式涉及的輸送裝置的立體圖；

圖14是表示第二實施方式涉及的輸送裝置的驅動單元的立體圖；

圖15是表示第二實施方式涉及的驅動單元的致動器的立體圖；

圖16是表示第二實施方式涉及的致動器的主要部件剖視圖；

圖17是表示第二實施方式涉及的驅動單元的框架的立體圖。

附圖標記說明

G??????????基板

30、210????臂單元

35、236????升降機構

36?????????升降驅動源單元

40、240????支撐基座

41、241????導引部

41a、241a??孔

50、220????驅動單元