[發明專利]真空排氣裝置、真空排氣方法及基板處理裝置

有效

• 申請號: 201080059663.0
• 申請日: 2010-11-29
• 公開（公告）號: CN102713287A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 井上俊哉;橋本建治;山本昌弘
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: F04B37/16
• 分類號: F04B37/16;F04C25/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 黃永杰

技術領域

本發明涉及將處理室排氣為真空狀態的真空排氣裝置及真空排氣方法。

此外，本發明涉及與真空排氣裝置連接的基板處理裝置。

背景技術

在進行布線用金屬膜的成膜處理的處理裝置中，具備用于進行規定的加工的基板處理室（處理室）。基板處理室通過真空泵排氣，創造出與處理適應的真空環境。由于在成膜處理等中多使用反應性強的氣體，因此，作為真空泵，采用不讓吸入室存在油而從大氣壓獲得真空的干式真空泵。

隨著半導體制造加工的復合化，在使多個處理室獨立的狀態下對全部處理室進行真空排氣的基板處理裝置已占設備的主流。因此，采用將多臺真空泵并列連接的真空排氣裝置。為了獲得規定的真空環境，使多臺真空泵動作從而獲得基板處理室的真空狀態，但與處理相應，會反復進行用于獲得規定的真空狀態的額定運轉、和維持已獲得的真空狀態的運轉（待機運轉）。

真空排氣裝置中采用的真空泵一般是容積輸送型真空泵，運轉中反復使最終段的容積部在排氣時暴露在大氣中。由于待機運轉時不進行氣體的輸送，因此真空泵的工作理論上為零，但是，需要使最終段的容積部為真空狀態（減壓）的動力。因此，以往進行如下處理：設置對最終段的容積部進行排氣的輔助泵，通過輔助泵來保持最終段的容積部的真空狀態，由此，減少待機運轉時的真空泵的工作量而抑制耗電量（例如，參照專利文獻1、專利文獻2）。

近年，對平板顯示器那樣大型的玻璃基板進行布線用金屬的成膜等。因此，處理室的容積大型化。基板變大也加長處理時間，使得生產性降低，因此，在具備針對大型的基板的處理室的基板處理裝置的真空排氣裝置中，增多真空泵的臺數，由此對于大的處理室也能夠在短時間獲得真空狀態。對于具備多臺真空泵的真空排氣裝置也能夠用輔助泵抑制待機運轉時的耗電量。

但是，在對多臺真空泵分別設置輔助泵的情況下，輔助泵的臺數變多，可能在抑制耗電量的基礎上，設備成本變高，因此，實際情況是，難以應用于具有多臺真空泵的真空排氣裝置。此外，在對多臺真空泵連接一個輔助泵的情況下，除了輔助泵自身的設備成本以外，對于大量真空泵的配管等設備成本可能會增加，同樣，實際情況是，難以應用于具有多臺真空泵的真空排氣裝置。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開第2003-155988號公報

專利文獻2：日本特開第2003-139054號公報

發明內容

發明要解決的問題

本發明是鑒于上述狀況而作出的，其目的在于提供能夠不用輔助泵地抑制多臺真空泵的耗電量的真空排氣裝置及真空排氣方法。

此外，本發明是鑒于上述狀況而作出的，其目的在于提供基板處理裝置，該基板處理裝置具備能夠不用輔助泵地抑制多臺真空泵的耗電量的真空排氣裝置。

用于解決問題的手段

用于達成上述目的的技術方案1的本發明的真空排氣裝置的特征在于，所述真空排氣裝置具備：多個真空泵，其相對于處理室并列連接，并使所述處理室成為規定的真空狀態；排氣集合管，其將所述真空泵的排氣側連通；輔助配管，其對至少一個所述真空泵的進氣側和所述排氣集合管進行連接；和切換單元，其將所述至少一個所述真空泵的進氣側的流路切換到所述處理室側或所述輔助配管側。

在技術方案1的本發明中，在進行維持現有的真空壓狀態的運轉的情況下，通過切換單元，使至少一個所述真空泵的進氣側的流路與排氣集合管側連通，通過至少一個真空泵，對其他真空泵的最終段的容積部進行排氣，使其他真空泵中氣體輸送引起的負荷近似為零。其結果，通過切換單元的動作，能夠不用輔助泵地抑制多臺真空泵的耗電量。

對于對平板顯示器那樣大型的玻璃基板進行處理的處理室，并列設置數臺至十數臺的真空泵，但即使在這種情況下，在進行維持現有的真空壓狀態的運轉時，也可通過一個真空泵進行其他真空泵的最終段的容積部的排氣，由此，能夠大幅抑制其他真空泵的耗電量。即，能夠與對各真空泵單獨采用輔助泵時一樣地抑制耗電量。

例如，在將本申請應用于并列連接了10臺真空泵的真空排氣裝置的情況下，可將花費數十萬日元設備成本的輔助泵省略10臺的量，即，能夠在削減了數百萬日元設備成本的狀態下，與采用輔助泵時同等程度地抑制耗電量。即，在維持現有的真空壓狀態之際，在伴隨著用于對最終段的容積部進行減壓的運轉的真空泵的情況下，例如，需要7.5Kw的耗電量，但在對最終段的容積部實施排氣的情況下，耗電量例如為2.5Kw。因此，在削減數百萬日元的設備成本，實施維持現有的真空壓狀態的運轉時，對1臺真空泵，例如能抑制5Kw的電力。