[發明專利]正型感光性樹脂組合物、由該組合物形成的固化膜及具有固化膜的元件

有效

• 申請號: 201080058514.2
• 申請日: 2010-12-20
• 公開（公告）號: CN102667625A
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 藤原健典;內田圭一;谷垣勇剛;諏訪充史
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;C08G77/04;C08G77/14;G03F7/022;G03F7/023
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;田欣

1.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(c)溶劑的正型感光性組合物，

(a)聚硅氧烷中的來源于通式(1)所示的有機硅烷的結構的含有比率，以相對于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數的Si原子摩爾比計，為20%～80%，并且(a)聚硅氧烷中包含來源于通式(2)所示的有機硅烷的結構，

式中，R¹表示碳原子數6～15的芳基，多個R¹可以分別相同也可以不同；R²表示氫、碳原子數1～6的烷基、碳原子數2～6的酰基、碳原子數6～15的芳基中的任一種，多個R²可以分別相同也可以不同；n表示1～3的整數；

式中，R³～R⁶分別獨立地表示氫、碳原子數1～6的烷基、碳原子數2～6的酰基、碳原子數6～15的芳基中的任一種；m表示1～11的整數。

2.根據權利要求1所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，還含有來源于通式(3)所示的有機硅烷的結構，

式中，R⁷表示氫、碳原子數1～10的烷基、碳原子數2～10的鏈烯基中的任一種，多個R⁷可以分別相同也可以不同；R⁸表示氫、碳原子數1～6的烷基、碳原子數2～6的酰基、碳原子數6～15的芳基中的任一種，多個R⁸可以分別相同也可以不同；l表示1～3的整數。

3.根據權利要求1或2所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，以相對于聚硅氧烷全體的Si原子摩爾數的Si原子摩爾比計，包含12%～60%的范圍的來源于通式(2)所示的有機硅烷的結構。

4.根據權利要求1～3的任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式(1)的R¹為苯基、甲苯基、萘基、蒽基、菲基、芴基、芴酮基、芘基、茚基、苊基中的任一種基團。

5.根據權利要求1～4的任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式(2)的m為2～11的整數。

6.根據權利要求1～5的任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于，(b)重氮萘醌化合物相對于(a)聚硅氧烷100重量份為3～15重量份。

7.根據權利要求1～6的任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于，(b)重氮萘醌化合物為下述通式(4)所示的重氮萘醌化合物，

式中，R⁹表示氫、或碳原子數1～8的烷基；R¹⁰、R¹¹、R¹²、R¹³表示氫原子、碳原子數1～8的烷基、烷氧基、羧基、酯基中的任一種；各R¹⁰、R¹¹、R¹²、R¹³可以相同也可以不同；Q表示重氮萘醌-5-磺酰基、氫原子中的任一種，但Q全部為氫原子的情況除外；a、b、c、d、e、α、β、γ表示0～4的整數；其中，α＋β＋γ＋δ≥2。

8.一種固化膜，其是由權利要求1～7的任一項所述的正型感光性組合物形成的固化膜，波長400nm時的每3μm膜厚的光透射率為90%以上。

9.一種元件，其具備權利要求8所述的固化膜。

10.一種元件，權利要求9所述的元件為液晶顯示元件、有機EL顯示元件、觸摸面板用傳感器元件、半導體元件、固體攝像元件或光半導體元件中的任一種。