[發(fā)明專利]晶圓載具無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201080048140.6 | 申請日： | 2010-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN102598238A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林鐘顯;鄭領(lǐng)哲;劉泳鐘;金永均;崔鉉喆 | 申請（專利權(quán)）人： | EMP有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;B65D85/86;B65D85/38 |
| 代理公司： | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291 | 代理人： | 楊黎峰;李欣 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶圓載具 | ||
1.一種晶圓載具，包括：
一對側(cè)板，所述一對側(cè)板具有在所述一對側(cè)板的頂端形成的吊孔和插入孔；
側(cè)支撐桿，所述側(cè)支撐桿固定在所述一對側(cè)板的兩側(cè)，以使所述一對側(cè)板相隔預(yù)定的距離，并且所述側(cè)支撐桿具有在所述側(cè)支撐桿的內(nèi)側(cè)沿著長度方向由固定突出部形成的插槽；
底部支撐桿，所述底部支撐桿固定至所述一對側(cè)板的底表面，以使所述一對側(cè)板相隔預(yù)定的距離，并且所述底部支撐桿具有在所述底部支撐桿的頂部沿著長度方向由固定突出部形成的插槽；以及
屏蔽桿，所述屏蔽桿可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽桿的底部沿著長度方向由固定突出部形成的插槽；
其中，所述插槽形成為使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的寬度方向上的兩端。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓載具，其中，所述插槽的底表面是以選自曲線和傾斜面中的任意一種形成的。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓載具，其中，所述固定突出部的截面形狀為：寬度從其底端向頂端逐漸變窄。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓載具，其中，所述固定突出部具有曲線形狀。
5.如權(quán)利要求3所述的晶圓載具，其中，所述固定突出部具有側(cè)面的傾斜面在頂端相互接觸的形狀。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓載具，其中，所述固定突出部的底端還設(shè)置有角形體
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓載具，其中，所述角形體具有垂直形成的側(cè)面或具有與所述固定突出部的傾斜面相比相對小的傾斜角。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
