[發(fā)明專利]直列式成膜裝置、磁記錄介質(zhì)的制造方法以及閘閥

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080047524.6
• 申請(qǐng)日: 2010-12-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102597300A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 角田幸隆;上野諭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昭和電工株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;F16K3/18;G11B5/85;G11B5/851
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 段承恩;劉蓉

1.一種直列式成膜裝置，其特征在于，具備：

進(jìn)行成膜處理的多個(gè)腔室；

載體，其在所述多個(gè)腔室內(nèi)保持作為成膜對(duì)象的基板；

輸送機(jī)構(gòu)，其在所述多個(gè)腔室之間依次輸送所述載體；和

閘閥，其設(shè)置于所述多個(gè)腔室之間，對(duì)所述載體所通過(guò)的通路進(jìn)行開(kāi)閉；

所述閘閥具有：設(shè)有形成所述通路的開(kāi)口部的一對(duì)分隔壁；在所述一對(duì)分隔壁之間被移動(dòng)操作的閥體；和在將所述開(kāi)口部封閉的位置與將所述開(kāi)口部開(kāi)放的位置之間驅(qū)動(dòng)所述閥體的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是氣缸機(jī)構(gòu)，具有：連接于所述閥體的活塞；配置有所述活塞的缸；連接于所述缸內(nèi)的第1空間的第1閥機(jī)構(gòu)；和連接于所述缸內(nèi)的第2空間的第2閥機(jī)構(gòu)；

一邊經(jīng)由所述第1閥機(jī)構(gòu)向所述第1空間供給空氣，一邊經(jīng)由所述第2閥機(jī)構(gòu)從所述第2空間排出空氣，由此向所述閥體將所述開(kāi)口部封閉的一個(gè)方向按壓所述缸內(nèi)的活塞而使其移動(dòng)；

另一方面，一邊經(jīng)由所述第2閥機(jī)構(gòu)向所述第2空間供給空氣，一邊經(jīng)由所述第1閥機(jī)構(gòu)從所述第1空間排出空氣，由此向所述閥體將所述開(kāi)口部開(kāi)放的另一個(gè)方向按壓所述缸內(nèi)的活塞而使其移動(dòng)；

所述氣缸機(jī)構(gòu)在所述缸內(nèi)的活塞就要到達(dá)所述一個(gè)方向的端部之前，通過(guò)所述第2閥機(jī)構(gòu)對(duì)從所述第2空間排出的空氣的流量進(jìn)行節(jié)流；

另一方面，在所述缸內(nèi)的活塞就要到達(dá)所述另一個(gè)方向的端部之前，通過(guò)所述第1閥機(jī)構(gòu)對(duì)從所述第1空間排出的空氣的流量進(jìn)行節(jié)流。

2.如權(quán)利要求1所述的直列式成膜裝置，其特征在于：

所述第1閥機(jī)構(gòu)具有并列連接于所述缸內(nèi)的第1空間的第1開(kāi)閉閥以及第1流量調(diào)整閥；

所述第2閥機(jī)構(gòu)具有并列連接于所述缸內(nèi)的第2空間的第2開(kāi)閉閥以及第2流量調(diào)整閥；

所述氣缸機(jī)構(gòu)一邊經(jīng)由所述第1開(kāi)閉閥以及所述第1流量調(diào)整閥向所述第1空間供給空氣，一邊經(jīng)由所述第2開(kāi)閉閥以及所述第2流量調(diào)整閥從所述第2空間排出空氣，由此向所述閥體將所述開(kāi)口部封閉的一個(gè)方向按壓所述缸內(nèi)的活塞而使其移動(dòng)，在該活塞就要到達(dá)所述一個(gè)方向的端部之前，通過(guò)將所述第2開(kāi)閉閥完全關(guān)閉而僅通過(guò)所述第2流量調(diào)整閥排氣；

另一方面，一邊經(jīng)由所述第2開(kāi)閉閥以及所述第2流量調(diào)整閥向所述第2空間供給空氣，一邊經(jīng)由所述第1開(kāi)閉閥以及所述第1流量調(diào)整閥從所述第1空間排出空氣，由此向所述閥體將所述開(kāi)口部開(kāi)放的另一個(gè)方向按壓所述缸內(nèi)的活塞而使其移動(dòng)，在該活塞就要到達(dá)所述另一個(gè)方向的端部之前，通過(guò)將所述第1開(kāi)閉閥完全關(guān)閉而僅通過(guò)所述第1流量調(diào)整閥排氣。

3.如權(quán)利要求2所述的直列式成膜裝置，其特征在于：所述第1開(kāi)閉閥以及所述第2開(kāi)閉閥為電磁閥，所述第1流量調(diào)整閥以及所述第2流量調(diào)整閥為針閥。

4.如權(quán)利要求2或3所述的直列式成膜裝置，其特征在于：

具備導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，其具有與所述閥體一體移動(dòng)的移動(dòng)體以及和所述移動(dòng)體接合的導(dǎo)向孔，通過(guò)所述移動(dòng)體在所述導(dǎo)向孔內(nèi)移動(dòng)，對(duì)所述閥體進(jìn)行導(dǎo)向，使其能夠向所述通路的切斷方向移動(dòng)；

所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有在所述移動(dòng)體位于所述導(dǎo)向孔的至少一方的端部時(shí)與該移動(dòng)體抵接的樹(shù)脂擋塊。

5.一種磁記錄介質(zhì)的制造方法，其特征在于：包括使用如權(quán)利要求1～4中的任意一項(xiàng)所述的直列式成膜裝置而在所述基板的表面至少形成磁性層的工序。