[發明專利]清掃嘴和具備該清掃嘴的塵埃除去裝置

無效

• 申請號: 201080043857.1
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN102548673A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 安田忠睦;田村保則
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: B08B5/04
• 分類號: B08B5/04;B08B5/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

技術領域

本發明涉及清掃嘴和具備該清掃嘴的塵埃除去裝置。

背景技術

一般，在液晶顯示面板、半導體器件等的制造中，對液晶顯示面板、玻璃基板、晶片基板等被處理體進行成膜處理、蝕刻處理，所以當顆粒物等塵埃附著于該被處理體的表面時，這成為產品面板、產品芯片不良的原因。因此，使用將附著于被處理體的表面的塵埃除去的塵埃除去裝置。

例如，作為氣體抽吸型的塵埃除去裝置，已知具備保持被處理體的保持臺和圓筒狀的吸入嘴的裝置(例如，參照專利文獻1)。這種塵埃除去裝置的吸入嘴的排氣口通過配管和塵埃收納部等與真空泵等負壓單元連結，通過該負壓單元的驅動，產生被吸入到接近被處理體的吸入嘴的吸入口內的抽吸氣流，吸入被處理體表面的塵埃并將其除去。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開平5-156033號公報

發明內容

發明要解決的問題

在如上述的通過抽吸除去塵埃的塵埃除去裝置中，為了使被處理體表面的塵埃漂浮而從吸入嘴吸入到塵埃收納部，需要大的抽吸力。因此，當負壓單元的抽吸力小而不充分時，被處理體表面上的塵埃的除去性能變低。但是，當將抽吸力大的真空泵用作負壓單元時，裝置成本變高。

本發明是鑒于這樣的方面而完成的，其主要目的在于：即使是小的抽吸力也使被處理體表面中的塵埃的除去性能提高。

用于解決問題的方案

為了達成上述目的，本發明是在吸入嘴內面的至少一部分設有用于捕獲塵埃的粘附層。

具體地，第1至第6發明將清掃嘴作為對象，講述如下技術方案，該清掃嘴具備吸入嘴，該吸入嘴在內部具有氣體流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排氣口，利用從上述吸入口吸入并從上述排氣口排出的抽吸氣流使附著于被處理體的表面的塵埃脫離。

即，第1發明的特征在于，在上述吸入嘴內面的至少一部分設有用于捕獲上述塵埃的粘附層。

第2發明的特征在于，在第1發明的清掃嘴中，還具備整流單元，該整流單元使上述抽吸氣流呈螺旋狀地沿著上述吸入嘴內面。

第3發明的特征在于，在第2發明的清掃嘴中，上述整流單元是在頂端形成有噴出壓縮氣體的噴出口的噴出嘴，上述噴出口的壓縮氣體噴出方向的朝向相對于該吸入嘴內面設定成使壓縮氣體沿著上述吸入嘴內面。

第4發明的特征在于，在第1至第3發明中的任一項的清掃嘴中，上述氣體流路以流路面積從上述吸入口側朝向上述排氣口側逐漸變窄的方式越往里越窄地形成。

第5發明的特征在于，在第4發明的清掃嘴中，上述氣體流路形成為流路直徑從上述吸入口側朝向上述排氣口側逐漸地縮小的圓錐臺形狀。

第6發明的特征在于，在第1至第5發明中的任一項的清掃嘴中，上述粘附層包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。

另外，第7發明涉及具備設為上述對象的清掃嘴的塵埃除去裝置，其特征在于，具備：第1至第6發明中的任一項的清掃嘴；負壓單元，其通過配管連接到上述吸入嘴的排氣口，通過驅動使上述吸入嘴的內部成為負壓狀態；以及保持臺，其保持被處理體，上述塵埃除去裝置構成為：在使上述吸入嘴的吸入口與保持于上述保持臺的被處理體對應的狀態下，通過上述負壓單元的驅動使上述吸入嘴的內部成為負壓狀態而產生抽吸氣流，利用上述抽吸氣流使附著于上述被處理體的表面的塵埃脫離，使該塵埃附著于吸入嘴內面的粘附層而捕獲該塵埃。

—作用—

接著，對本發明的作用進行說明。

根據第1至第6發明，從被處理體脫離的塵埃被吸入到吸入嘴的內部并附著于吸入嘴內面的粘附層而被捕獲。因此，與從吸入嘴將塵埃吸入到收納部的情況相比，不必以大的抽吸力吸入塵埃。因此，即使是小的抽吸力也能使被處理體表面上的塵埃的除去性能提高。

根據第2發明，在吸入被處理體表面的塵埃的情況下，利用整流單元以抽吸氣流呈螺旋狀地沿著吸入嘴內面的方式整流。由此，在抽吸氣流為從吸入口側朝向排氣口側的直線狀的情況下僅抽吸氣流的一部分沿著吸入嘴內面，與此相對，抽吸氣流的大部分沿著吸入嘴內面，并且沿著吸入嘴內面的距離變長了抽吸氣流旋轉的量。據此，呈螺旋狀地被卷起的塵埃與抽吸氣流一起被吸入嘴內面的粘附層有效地捕獲，被處理體表面的塵埃良好地被除去。