[發明專利]清掃嘴和具備該清掃嘴的塵埃除去裝置

無效

• 申請號: 201080043857.1
• 申請日: 2010-09-21
• 公開（公告）號: CN102548673A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 安田忠睦;田村保則
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: B08B5/04
• 分類號: B08B5/04;B08B5/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種清掃嘴，其特征在于，

具備吸入嘴，該吸入嘴在內部具有氣體流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排氣口，利用從上述吸入口吸入并從上述排氣口排出的抽吸氣流使附著于被處理體的表面的塵埃脫離，

在上述吸入嘴內面的至少一部分設有用于捕獲上述塵埃的粘附層。

2.根據權利要求1所述的清掃嘴，其特征在于，

還具備整流單元，該整流單元使上述抽吸氣流呈螺旋狀地沿著上述吸入嘴內面。

3.根據權利要求2所述的清掃嘴，其特征在于，

上述整流單元是在頂端形成有噴出壓縮氣體的噴出口的噴出嘴，上述噴出口的壓縮氣體噴出方向的朝向相對于該吸入嘴內面設定成使壓縮氣體沿著上述吸入嘴內面。

4.根據權利要求1至3中的任一項所述的清掃嘴，其特征在于，

上述氣體流路以流路面積從上述吸入口側朝向上述排氣口側逐漸變窄的方式越往里越窄地形成。

5.根據權利要求4所述的清掃嘴，其特征在于，

上述氣體流路形成為流路直徑從上述吸入口側朝向上述排氣口側逐漸地縮小的圓錐臺形狀。

6.根據權利要求1至5中的任一項所述的清掃嘴，其特征在于，

上述粘附層包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。

7.一種塵埃除去裝置，其特征在于，具備：

權利要求1至6中的任一項所述的清掃嘴；

負壓單元，其通過配管連接到上述吸入嘴的排氣口，通過驅動使上述吸入嘴的內部成為負壓狀態；以及

保持臺，其保持被處理體，

上述塵埃除去裝置構成為：在使上述吸入嘴的吸入口與保持于上述保持臺的被處理體對應的狀態下，通過上述負壓單元的驅動使上述吸入嘴的內部成為負壓狀態而產生抽吸氣流，利用上述抽吸氣流使附著于上述被處理體的表面的塵埃脫離，使該塵埃附著于吸入嘴內面的粘附層而捕獲該塵埃。