[發明專利]掃描方法

有效

• 申請號: 201080022141.3
• 申請日: 2010-05-04
• 公開（公告）號: CN102439684A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: B.W.沃德
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司NTS有限責任公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

技術領域

本公開涉及用于樣品成像的掃描方法，例如使用帶電粒子的樣品成像。

背景技術

樣品可暴露于帶電粒子以用于多種應用，包括樣品成像。在一些實施例中，樣品的成像包括視場的光柵掃描(raster?scanning)，以獲得視場中包含的樣品部分的圖像。當用戶需要觀看樣品的不同部分時，系統修改視場并且進行新視場中包含的新區的光柵掃描。

發明內容

本發明公開了用于掃描樣品并且獲得樣品表面圖像的方法。該方法涉及獲得并結合樣品的慢掃描圖像，并且將圖像提供給用戶。在一些實施例中，用戶可搖攝和縮放存儲的圖像以觀看樣品的不同部分(例如，對比于移動鏡臺和獲得關注區域的新圖像)。當用戶在存儲圖像內搖攝和縮放時，存儲的圖像在用戶界面上移動，好像鏡臺和樣品正在移動。

在一些方面中，系統預先地獲得和存儲樣品的用戶目前觀看的圖像中區域圖像之外區域的圖像。如果用戶期望觀看獲得圖像的樣品部分，系統可隨后取回和提供這些獲得的圖像給用戶。為了將新獲取圖像提供給用戶，系統將新獲取圖像和先前圖像結合。

在一些方面中，掃描樣品的方法和系統可包括識別用戶的移動先前存儲的圖像的意圖(例如，基于用戶輸入)，并且經由慢掃描來掃描在識別的方向上與存儲圖像的邊緣相鄰的樣品的部分(例如帶)。新獲取的圖像與先前獲取的圖像結合。

在一些方面中，一種方法包括將樣品的第一部分暴露于帶電粒子束，以產生該樣品的該第一部分的第一圖像；以及在控制系統接收關于方向的輸入。該方法還包括確定在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分是否已經先前被暴露以產生該第二部分的圖像。該方法還包括：如果該第二部分已經在先前被暴露，則從存儲器取回該第二部分的圖像；以及如果該第二部分沒有在先前被暴露，則將在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分暴露于帶電粒子束以產生第二圖像。該方法還包括將該第一圖像的至少一部分與該第二圖像或者該第二部分的取回圖像結合以產生第三圖像；以及在用戶界面上顯示該第三圖像。

實施例可包括以下的一個或更多個。將該樣品的該第一部分暴露于該帶電粒子束以產生該第一圖像包括采用慢掃描技術；以及將該樣品的該第二部分暴露于該帶電粒子束以產生該第二圖像包括采用慢掃描技術。該第二圖像包括比該第一圖像更少的像素數。該樣品的該第二部分包括比該樣品的該第一部分更小的面積。關于方向的輸入可包括移動方向的表示和移動速度的表示。

該方法還可以包括基于移動速度的表示，確定該樣品的暴露于該粒子束的該第二部分的尺寸；以及基于移動方向，確定該樣品的暴露于該粒子束的該第二部分的位置。結合該第一圖像和該第二圖像的至少一部分以產生第三圖像可包括：結合比整個的第一圖像小的子區域和該第二圖像的至少一部分。接收該關于方向的輸入可包括：在用戶界面上顯示該第一圖像；以及響應用戶輸入，在該用戶界面上移動該第一圖像。在該用戶界面上移動該第一圖像可包括移動該第一圖像，而不移動該樣品。暴露在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分可包括：暴露該第二部分以產生低分辨率圖像；以及隨后暴露該第二部分以產生高分辨率圖像。

該方法還可包括：如果該第二部分已經在先前暴露，則確定該第二部分的取回圖像的分辨率。結合該第一圖像的至少一部分與該第二部分的取回圖像以產生第三圖像包括：集聚從該第二部分的取回圖像的圖像數據以匹配該第一圖像的分辨率。結合該第一圖像的至少一部分與該第二部分的取回圖像以產生第三圖像可包括：內插從該第二部分的取回圖像的圖像數據以匹配該第一圖像的分辨率。

在一些方面中，一種方法包括：將樣品暴露于帶電粒子束以產生該樣品的第一部分的第一圖像；以及將在多個方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的多個部分暴露于帶電粒子束以產生一組相鄰圖像。該方法還包括：在控制系統接收關于方向的輸入；結合該第一圖像的至少一部分和該相鄰圖像的一個或者更多個圖像的至少一部分以產生第三圖像；以及在用戶界面上顯示該第三圖像。

在一些方面中，一種方法包括：在與離子顯微鏡有關的用戶界面上顯示樣品的第一部分的第一圖像，該第一圖像包括通過將該樣品的該第一部分暴露于帶電粒子束而產生的圖像。該方法還包括在該用戶界面上顯示該樣品的第二部分的第二圖像，該樣品的第二部分包括沒有包含在該第一部分中的未重疊區域以及包含在該第一部分中的重疊區域；該第二圖像包括通過將該樣品的未重疊區域暴露于帶電粒子束、但沒有將該重疊區域暴露于帶電粒子束而產生的圖像。