[發明專利]掃描方法

有效

• 申請號: 201080022141.3
• 申請日: 2010-05-04
• 公開（公告）號: CN102439684A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: B.W.沃德
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司NTS有限責任公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種方法，包括：

將樣品的第一部分暴露于帶電粒子束，以產生該樣品的該第一部分的第一圖像；

在控制系統接收關于方向的輸入；

確定在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分是否已經先前被暴露以產生該第二部分的圖像；

如果該第二部分已經在先前被暴露，則從存儲器取回該第二部分的圖像；以及

如果該第二部分沒有在先前被暴露，則將在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分暴露于帶電粒子束以產生第二圖像；

將該第一圖像的至少一部分與該第二圖像或者該第二部分的取回圖像結合以產生第三圖像；以及

在用戶界面上顯示該第三圖像。

2.根據權利要求1所述的方法，其中：

所述將該樣品的該第一部分暴露于該帶電粒子束以產生該第一圖像包括采用慢掃描技術；以及

所述將該樣品的該第二部分暴露于該帶電粒子束以產生該第二圖像包括采用慢掃描技術。

3.根據權利要求1所述的方法，其中該第二圖像包括比該第一圖像更少的像素數。

4.根據權利要求1所述的方法，其中該樣品的該第二部分包括比該樣品的該第一部分更小的面積。

5.根據權利要求1所述的方法，其中該關于方向的輸入包括移動方向的表示和移動速度的表示。

6.根據權利要求5所述的方法，還包括：

基于所述移動速度的表示，確定該樣品的暴露于該粒子束的該第二部分的尺寸；以及

基于所述移動方向，確定該樣品的暴露于該粒子束的該第二部分的位置。

7.根據權利要求1所述的方法，其中結合該第一圖像和該第二圖像的至少一部分以產生第三圖像包括：結合比整個的第一圖像小的子區域和該第二圖像的至少一部分。

8.根據權利要求1所述的方法，其中接收該關于方向的輸入包括：

在用戶界面上顯示該第一圖像；

響應用戶輸入，在該用戶界面上移動該第一圖像。

9.根據權利要求1所述的方法，其中在該用戶界面上移動該第一圖像包括移動該第一圖像，而不移動該樣品。

10.根據權利要求1所述的方法，其中暴露在基于該關于方向的輸入的方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的第二部分包括：

暴露該第二部分以產生低分辨率圖像；以及

隨后暴露該第二部分以產生高分辨率圖像。

11.根據權利要求1所述的方法，其中如果該第二部分已經在先前被暴露，則該方法還包括確定該第二部分的取回圖像的分辨率。

12.根據權利要求11所述的方法，其中結合該第一圖像的至少一部分與該第二部分的取回圖像以產生第三圖像包括集聚從該第二部分的取回圖像的圖像數據以匹配該第一圖像的分辨率。

13.根據權利要求11所述的方法，其中結合該第一圖像的至少一部分與該第二部分的取回圖像以產生第三圖像包括內插從該第二部分的取回圖像的圖像數據以匹配該第一圖像的分辨率。

14.一種方法，包括：

將樣品暴露于帶電粒子束以產生該樣品的第一部分的第一圖像；

將在多個方向上與該樣品的該第一部分相鄰的該樣品的多個部分暴露于帶電粒子束以產生一組相鄰圖像；

在控制系統接收關于方向的輸入；

結合該第一圖像的至少一部分和該相鄰圖像的一個或者更多個圖像的至少一部分以產生第三圖像；以及

在用戶界面上顯示該第三圖像。

15.一種方法，包括：

在與粒子束系統有關的用戶界面上顯示樣品的第一部分的第一圖像，該第一圖像包括通過將該樣品的該第一部分暴露于帶電粒子束而產生的圖像；

在該用戶界面上顯示該樣品的第二部分的第二圖像，該樣品的第二部分包括沒有包含在該第一部分中的未重疊區域以及包含在該第一部分中的重疊區域；該第二圖像包括通過將該樣品的未重疊區域暴露于帶電粒子束、但沒有將該重疊區域暴露于帶電粒子束而產生的圖像。