[發明專利]使用光學顯微鏡和粒子束顯微鏡的序列對對象進行顯微檢查

有效

• 申請號: 201080020680.3
• 申請日: 2010-05-07
• 公開（公告）號: CN102422198A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 克莉絲汀娜·湯瑪士;托斯頓·西弗斯;亞利山大·特森
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司公司
• 主分類號: G02B21/34
• 分類號: G02B21/34;H01J37/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所 11264
• 代理人: 劉俊

技術領域

本發明涉及使用光學顯微鏡和粒子束顯微鏡的組合對對象進行顯微檢查。

背景技術

特別是對于生物和材料科學樣品，使用光學顯微鏡(例如光顯微鏡)和粒子束顯微鏡(例如電子顯微鏡)二者進行檢查經常是期望的。在現有技術中，可以實施這兩種顯微鏡方法的復雜顯微鏡被用于此。一種這樣的顯微鏡例如從EP0849765?A2或US6683316?B2已知。這種組合顯微鏡是復雜的，特別是因為必須將整個光學顯微鏡集成在粒子束顯微鏡所需要的真空腔體內，并且必須提供在真空下在兩種顯微鏡之間移動樣品的樣品臺。這導致比較大的真空體積以及另外導致在制造隨后必須適合在真空下使用的光學顯微鏡時顯著的支出。另一個缺點在于，在真空下不能實施利用浸漬的光學成像。如果在粒子束顯微鏡檢查期間對象不是布置在真空下，如例如在根據US20080308731?A1的組合顯微鏡中那樣，成像質量變差，因為電子在膜狀物上以及在空氣中被散射。

作為使用這種組合顯微鏡的可替換方案是依次使用單個裝置。在現有技術中，為此使用了支架的各種設計。對于光學顯微鏡，習慣上使用測量的尺寸為幾厘米的玻璃載物片以及放置在樣品上方的蓋玻片。在電子顯微鏡中，測量的大小為幾毫米的格柵或者金屬樣品板是常例的。為了將待微觀檢查的對象例如生物樣品從光學顯微鏡傳遞到粒子束顯微鏡，樣品必須從一個支架系統轉移到另一個支架系統。這涉及一些缺點。首先轉移是耗時的并且承受損壞或損毀樣品的風險。第二，在兩種顯微鏡方法中提供位置參考是困難的，因為例如首先使用光學顯微鏡檢查的區域的位置必須再次被發現以用于粒子束顯微鏡。此處使用對象中或生物樣品上的標記也不提供進一步的幫助，因為例如由于畸變的原因，在轉移期間樣品的結構通常改變。因此使用其它方法已經微觀檢查的對象位置的耗時和費力的恢復是不可避免的。

因此本發明的目的是促進使用光學顯微鏡和粒子束顯微鏡的序列對對象進行顯微檢查，而不必引起組合顯微鏡所需要的支出。

發明內容

根據本發明此目的是通過一種使用光學顯微鏡和粒子束顯微鏡的序列對對象進行顯微檢查的載物片系統來實現，其中該系統包括：導電支架，其中至少一個窗口形成于該支架中并且其中該支架優選地具有用于光學顯微鏡的標準玻璃載物片的尺度；載物片元件，其形成為承載用于顯微檢查的對象且其形成為覆蓋該窗口；以及緊固裝置，其形成為將載物片元件固定在該窗口上方。

在本說明書中窗口也表示未完全被支架的材料圍繞并且例如位于載物片的邊緣的開口。

在本發明的范圍內，還提供了一種用于對象的顯微檢查的方法，其中使用光學顯微鏡，以及在之前或者之后使用粒子束顯微鏡檢查對象，其中還使用所定義類型的載物片系統。對象因而放置在載物片元件上并且安置在支架的窗口上方。支架隨后被接連插入所使用的這兩個顯微鏡，即光學顯微鏡和粒子束顯微鏡，結果是使用兩個顯微鏡接連檢查對象。

如所提及，對象的重定位是不可能的。在兩個顯微鏡中對象定位在同一支架上的事實是有利的，特別是如果使用這樣的顯微鏡，該顯微鏡具有在支架被插入顯微鏡時用于移動支架的機構。在該方法的發展中，于是有可能使用一種載物片系統，該載物片系統的支架具有所提到的(多個)對齊標記。對象區域被定義，并且在利用首先使用的顯微鏡(例如光學顯微鏡)的顯微鏡檢查期間，對象區域和對齊標記的相對位置被確定，其中通過致動該機構，利用首先使用的顯微鏡來成像該對象區域以及(多個)對齊標記。由于對象區域和(多個)對齊標記的相對位置因此已知，對齊標記被成像在隨后使用的顯微鏡(例如粒子束顯微鏡)中，并且通過從對齊標記開始致動該機構以及通過使用已經知曉的相對位置來接近該對象區域。

該方法也可以細化為使得在兩個顯微鏡中，通過使用該顯微鏡成像(多個)對齊標記來確定對齊標記相對于各個顯微鏡的位置。對象區域的位置于是被存儲為與(多個)對齊標記的關系。

該方法使得有可能容易地將特定對象區域帶到各個顯微鏡中的期望位置，因為通過該(多個)對齊標記實現了相對于該支架在位置上的該對象區域的校準。