[發(fā)明專利]使用光學顯微鏡和粒子束顯微鏡的序列對對象進行顯微檢查

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080020680.3
• 申請日: 2010-05-07
• 公開（公告）號: CN102422198A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 克莉絲汀娜·湯瑪士;托斯頓·西弗斯;亞利山大·特森
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司公司
• 主分類號: G02B21/34
• 分類號: G02B21/34;H01J37/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種使用光學顯微鏡(10)和粒子束顯微鏡(12)的組合對對象(8)進行顯微檢查的載物片系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)(1)包括：

導電支架(2)，其中至少一個窗口(3；17、18)形成于該支架(2)中并且其中該支架(2)優(yōu)選地具有用于光學顯微鏡(10)的標準玻璃載物片的尺度，

載物片元件(7；19)，其形成為承載用于顯微檢查的對象(8)并且形成為布置在該窗口(3；17、18)上方，以及

緊固裝置(5，6；22，25)，其形成為用于將該載物片元件(7；19)固定在該窗口(3；17、18)上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，該支架(2)具有凹槽(16)，該窗口(3；17、18)形成于該凹槽(16)內(nèi)并且該載物片元件(7；19)可以被插入該凹槽(16)，結(jié)果是放置在該窗口(3；17、18)上方的該載物片元件(7；19)定位為與該支架(2)的頂部相比更靠近該支架(2)的底部(4)。

3.根據(jù)上述權(quán)利要求任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，至少一個對齊標記(14；29)被提供在該支架(2)處，所述對齊標記可以利用光學顯微鏡(10)探測且也可以利用粒子束顯微鏡(12)探測。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，至少三個對齊標記(30)被提供在該支架(2)處，所述對齊標記固定用于該支架(2)的坐標系。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于，每個對齊標記(30)形成為調(diào)適用于兩種不同顯微放大倍數(shù)的雙重標記(31，32)。

6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，該緊固裝置包括連接到緊鄰該窗口(3；17、18)的該支架(2)的至少一個夾持裝置(22)，用于將該載物片元件(7；19)固定在該窗口(3；17、18)上方。

7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，該載物片元件形成為導電格柵(19)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，該載物片元件形成為蓋玻片(7)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，該緊固裝置包括橫靠該窗口(3)延伸的軌道(5，6)，該蓋玻片(7)可以被插入該軌道內(nèi)并且因而放置在該窗口(3)上方。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括透明膜(28)，該膜的光學折射率匹配到該蓋玻片(7)的折射率并且該膜保護該蓋玻片(7)免受用于光學顯微鏡(10)的浸漬流體(11)影響，結(jié)果是所使用的該浸漬流體(11)可以通過剝離該膜(28)而移除。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，該膜(28)具有位于一側(cè)上的粘合層，當該膜(28)從該蓋玻片(7)剝離時該粘合層仍排它地粘接到該膜(28)。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的系統(tǒng)，其特征在于，該膜(28)大于該窗口(3)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)(1)包括環(huán)(26)，該環(huán)在其底部上具有橡膠唇狀部，其中該環(huán)(27)的內(nèi)部小于該蓋玻片(7)，結(jié)果是該環(huán)(26)可以布置在該蓋玻片(7)上方以及供應到用于光學顯微鏡(10)的該蓋玻片(7)的浸漬流體(11)可以通過該橡膠唇狀部從該蓋玻片(7)剝除。

14.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，提供適配器(33)，該適配器具有用于將該適配器(33)固定到粒子束顯微鏡的接收裝置的裝配裝置(34)并且在該適配器上形成支撐表面(35)，該支撐表面包括用于將該支架(2)固定在該支撐表面(35)上的保持裝置(36)。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，該適配器(33)具有位于該支撐表面(35)下方且位于該裝配裝置(34)上方的凹槽(37)，用于引入粒子束探測器。

16.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，該支架(2)具有機械對齊裝置，該機械對齊裝置形成為對齊光學顯微鏡(10)和/或粒子束顯微鏡(12)中的該支架(2)。