[發(fā)明專利]制造光波導(dǎo)芯部的方法、制造光波導(dǎo)的方法、光波導(dǎo)和光電復(fù)合配線板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080014521.2
• 申請日: 2010-03-26
• 公開（公告）號: CN102369467A
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中芝徹;橋本真治;近藤直幸;八代潤子
• 申請（專利權(quán)）人: 松下電工株式會社
• 主分類號: G02B6/13
• 分類號: G02B6/13;G02B6/43
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 丁利華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種制造光波導(dǎo)芯部的方法，制造光波導(dǎo)的方法，通過這種光波導(dǎo)制造方法制造的光波導(dǎo)，和具有這種光波導(dǎo)的光電復(fù)合配線板。

背景技術(shù)

光電復(fù)合配線板，是具有內(nèi)置光波導(dǎo)的印刷電路板，作為在今天解決各種類型的信息處理裝置中與更高信號速度相關(guān)聯(lián)的高頻噪聲和不足傳輸帶寬的問題的手段，正引起人們的廣泛關(guān)注。

具有光波導(dǎo)芯部的光波導(dǎo)被形成在這種光電復(fù)合配線板中用于例如光入射光波導(dǎo)和從光波導(dǎo)出射光，其中光波導(dǎo)芯部具有能夠反射光的傾斜端面。制造具有這種傾斜端面的光波導(dǎo)的方法的實例為下面的非專利文獻(xiàn)1中所述的方法。

下面的非專利文獻(xiàn)1記載了制造光波導(dǎo)芯部的方法，該方法包括以下步驟：形成光波導(dǎo)芯部，通過利用旋轉(zhuǎn)刀片等對光波導(dǎo)芯部進(jìn)行機(jī)械加工而在光波導(dǎo)芯部上形成用于鏡面的傾斜端面，和通過在傾斜端面沉積金屬層形成鏡面以便增加傾斜端面處的反射效率。

下面的非專利文獻(xiàn)2記載了一種形成光波導(dǎo)芯部的方法，繼形成光波導(dǎo)芯部之后，通過利用準(zhǔn)分子激光器從45°方向的照射進(jìn)行燒蝕(abl?ation)，從而形成用于鏡面的45°傾斜端面。

下面的專利文獻(xiàn)1記載了一種制造方法，該制造方法包括光被選擇性照射到感光材料層上以便改變感光材料從而形成結(jié)構(gòu)的制造步驟，該結(jié)構(gòu)的制造方法包括使得光以特定角度入射襯底的步驟。更具體地，公開了具有45°鏡面的波導(dǎo)能夠通過按順序進(jìn)行：芯部涂布、45°曝光和顯影而被形成。

非專利文獻(xiàn)1和2公開了具有傾斜端面的光波導(dǎo)芯部能夠通過上述說明的制造方法而被形成。

同時，在制造具有傾斜端面的光波導(dǎo)芯部時，除了期望提高形成傾斜端面的能力之外，還期望通過減少制造具有傾斜端面的光波導(dǎo)芯部所需要的步驟的數(shù)量來提高制造效率。而且，還期望通過減少制造步驟的數(shù)量來縮減制造成本。

在非專利文獻(xiàn)1和2所說明的方法中，繼形成光波導(dǎo)芯部之后，通過切削操作等等形成傾斜端面。即，分別進(jìn)行光波導(dǎo)芯部的形成和傾斜端面的形成，這就趨向于導(dǎo)致比當(dāng)兩者同時進(jìn)行時更低的生產(chǎn)效率和更高的生產(chǎn)成本。

接著，專利文獻(xiàn)1公開了一種技術(shù)：通過使在曝光時的光以特定角度入射襯底，能夠同時進(jìn)行光波導(dǎo)芯部的形成和傾斜端面的形成。

引用列表

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：第2004-279687號日本特開專利申請

非專利文獻(xiàn)1：“光電復(fù)合柔性印刷電路板”，松下電工技報(Matsushita?Denko?Giho)，第54卷，No.3(2006年9月)

非專利文獻(xiàn)2：Tsuyoshi?Shioda和Kenji?Suzuki，“通過準(zhǔn)分子激光器機(jī)械加工的高分子光波導(dǎo)中形成的45度微鏡”，日本電子封裝協(xié)會雜志(Journal?of?Japan?Institute?of?Electronics?Packaging)，第7卷，No.7，第607-612頁(2004年)

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明者的研究，當(dāng)如專利文獻(xiàn)1中所述在曝光時的光傾斜入射襯底時，如果芯部材料層的折射率較大，那么將與在芯部材料層的接口處出現(xiàn)的空氣等等的折射率有相當(dāng)大的不同。因此，形成具有特定角度的傾斜端面，例如45°鏡面的傾斜端面，需要曝光過程中的光相對于襯底具有小的角度。使得在曝光的過程中光對于襯底的角度小的情況下，有時光反射離開芯部材料層的表面，那么就不可能形成預(yù)定角度的傾斜端面。另外，當(dāng)芯部材料層的折射率與空氣的折射率有相當(dāng)大的不同時，在曝光過程中的光相對于覆層和襯底的角度的范圍變得狹窄，其中襯底不會產(chǎn)生光的全反射。因此，能夠在光波導(dǎo)中形成的傾斜端面的角度的范圍是狹窄的。即，存在不能形成預(yù)定角度的傾斜端面的情況。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種光波導(dǎo)芯部制造方法，該方法能夠有效制造具有預(yù)定角度的傾斜端面的光波導(dǎo)芯部。本發(fā)明的進(jìn)一步目的在于提供一種制造具有傾斜端面的光波導(dǎo)芯部的光波導(dǎo)的方法，通過這種制造方法制造的光波導(dǎo)，和具有這種光波導(dǎo)的光電復(fù)合配線板。