[發明專利]多型態成像

有效

• 申請號: 201080010615.2
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN102341692A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: T·瑪格利特;N·阿布達爾哈姆;R·歐龍;A·諾伊
• 申請（專利權）人: 以色列商奧寶科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/00
• 分類號: G01N21/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

【技術領域】

本發明系關于一種用于檢測電子電路的自動光學檢測(Automated?Optical?Inspection；AOI)系統，更具體而言，系關于在自動光學檢測系統中擷取印刷電路板(Printed?Circuit?Board；PCB)的影像。

【背景技術】

自動光學檢測(Automated?Optical?Inspection；AOI)系統通常用于檢測電子電路，包括印刷電路板(Printed?Circuit?Board；PCB)、平板顯示器(flat?panel?display)、芯片載體(chip?carrier)、集成電路(integrated?circuit；IC)等。某些現有的自動光學檢測系統系基于一單一照射組態(illumination?configuration)運作，而該單一照射組態通常被用于檢測特定類型的缺陷。其它現有的自動光學檢測系統則使用多個照射組態運作，以便能夠檢測更廣范圍的缺陷。

市售的自動光學檢測系統包括使用彩色影像的Inspire^TM9060、用于檢測裸印刷電路板(bare?PCB)的Discovery^TM及V-300^TM系統、用于檢測已植入組件的印刷電路板(populated?PCB)的Trion^TM系統、用于檢測平面顯示面板的FPI-6090^TM及FPI-7590^TM系統、以及用于檢測芯片載體的ICP?8060^TM系統。所有上述系統皆可自位于以色列Yavne的Orbotech有限公司購得。

名稱為「以交替的組態進行光學檢測(Optical?inspection?with?alternating?configurations)」的美國專利第7,397,552號描述一種用于檢測一晶圓(wafer)的成像系統，該成像系統包含一照射模塊及一機械掃描儀，該照射模塊用以提供脈沖式光學輻射，該機械掃描儀則用以掃描該照射模塊所照射的表面之一區域，并通過該脈沖式照射的各別依序的脈沖而于該表面上照射多個接連且實質重疊的畫面，各該接連的畫面間重疊至少50％，該美國專利的揭露內容以引用方式倂入本文中。該成像系統包括一系統控制器，該系統控制器用以于一第一組態與相異之一第二組態之間，交替地改變成像系統之一組態，其中該影像序列至少包含以該第一光學組態擷取之一第一組影像以及以該第二光學組態擷取之一第二組影像。該成像系統包含一影像處理器，用以共同處理第一影像與第二影像，以通過分析利用各該第一光學組態及第二光學組態成像的該表面上的特征來檢測樣本中的缺陷。

讓與Orbotech有限公司且名稱為「照射及影像擷取系統(Illumination?and?Image?Acquisition?System)」的美國專利第6,781,687號描述一種檢測系統，該檢測系統以閃光照射一電子電路之一表面，該美國專利的揭露內容以引用方式倂入本文中。閃光系來自在時間上相間的至少二不同光譜的光源。每一閃光皆入射于該表面上的同一位置且大約具有相同的入射角。一攝影機(camera)根據每一次閃光形成一單獨的光學影像。將以不同閃光形成的影像相組合而形成一全景影像(full?view?image)。然后，對該全景影像實施分析，以確定電子電路中的缺陷。

名稱為「用于多重影像分析的系統及方法(System?and?Method?for?Multiple?Image?Analysis)」的美國專利申請公開案第US2002/0186878號描述一種用于分析多個影像以確定一測試組件的缺陷的系統，該美國專利申請公開案的揭露內容以引用方式倂入本文中。該系統包括第一光源及第二光源以及一攝影機，該第一光源及第二光源分別自一不同角度發出一不同顏色的光，該攝影機帶有一處理器，以產生至少二影像。使用所述影像建立物體之一三維影像，然后加以分析以判斷測試組件之一尺寸是否可接受。

由位于以色列Yavne的Orbotech有限公司市售的Amethyst^TM系統系以不同的照射依序擷取一區域的多個影像，如http://www.orbotech.com/D2_ProductsGroup.asp？MenuID＝566(2008年11月16日)中所述。

【發明內容】