[發明專利]多型態成像

有效

• 申請號: 201080010615.2
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN102341692A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: T·瑪格利特;N·阿布達爾哈姆;R·歐龍;A·諾伊
• 申請（專利權）人: 以色列商奧寶科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/00
• 分類號: G01N21/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

1.一種以多個不同照射組態(illumination?configuration)掃描一表面的方法，該方法包含下列步驟：

于一單一掃描期間依序擷取多個影像，各該影像包含至少一行畫素(pixel)；

根據用以擷取各該影像的所述照射組態的一預定序列以及一成像單元的預定相對位移，依序改變用以擷取所述影像的一照射組態；以及

重復所述照射組態的該預定序列以及相關的影像擷取位置，至該表面的一預定區域被掃描為止；

其中該預定相對位移介于10個畫素與小于1個畫素之間。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，于一序列內擷取的多個影像部分重疊。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，各該影像覆蓋小于等于100行畫素。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，各該影像覆蓋1行畫素。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該預定相對位移具有小于1個畫素的一位移誤差。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，更包含下列步驟：

使用至少二不同照射組態于一單一掃描中擷取至少二組影像，并從各組影像建立一區域影像以獲得至少二區域影像。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，該至少二區域影像覆蓋該表面之一實質相同部分，該實質相同部分實質上大于于一單一影像中覆蓋該表面的一部分。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，實質上大于指至少大100倍。

9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，實質上大于指至少大1000倍。

10.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，該至少二區域影像以小于1個畫素的一校準誤差自動對準。

11.根據權利要求6所述的方法，更包含下列步驟：

檢測所述區域影像，其中該檢測步驟包括在無對準所述區域影像的條件下比較所述區域影像。

12.根據權利要求6所述的方法，更包含下列步驟：

根據該預定相對位移，調整所述區域影像間的空間校準。

13.根據權利要求6所述的方法，更包含下列步驟：

計算該至少二區域影像其中之一與一主影像間的一準位，并利用所計算的該準位使得該至少二區域影像其中的另一區域影像與該主影像對準。

14.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述影像使用至少一攝影機擷取，該至少一攝影機選自一群組，該群組包含：一線性攝影機(line?camera)以及一多線性攝影機(multi-line?camera)。

15.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該照射組態于影像擷取期間被開啟關閉或閃爍。

16.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該預定序列的所述照射組態于至少一參數不同，該至少一參數選自一群組，該群組包含：波長、強度、角度、角分布(angular?distribution)、極化(polarization)以及熒光性(fluorescence)。

17.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該照射組態于一頻率改變其設置，該頻率大于一掃描單元掃描該表面時的一機械頻率。

18.一種以多個不同照射組態掃描一表面的自動光學檢測系統，包含：

一成像單元，包含至少一攝影機及至少一照射單元，其中該至少一照射單元用以于各該不同照射組態提供照射，該至少一攝影機用以于一次掃描中擷取一序列影像，該序列影像的各影像包含至少一行畫素；

一掃描單元，用以以大小為小于等于1個畫素的一分辨率提供該表面與該成像單元間的平移；以及

一控制器，用以根據一預定序列來啟動各該不同照射組態，且于掃描期間重復該預定序列，以及用以啟動該攝影機以于每一次照射啟動期間擷取一影像。

19.根據權利要求18所述的系統，其特征在于，于該預定序列內擷取的多個影像部分重疊。

20.根據權利要求18所述的系統，其特征在于，該掃描單元用以于擷取該序列影像的各該影像之間提供大小為小于等于1個畫素的轉移。