[發(fā)明專利]觸摸屏及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080007008.0
• 申請(qǐng)日: 2010-02-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102308366A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃智泳;黃仁皙;全相起;李東郁;孫鏞久;樸珉春;李承憲;具范謨;洪瑛晙;金起煥;金秀珍;崔賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: LG化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/027
• 分類號(hào): H01L21/027;G06F3/041;G02B5/28
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 朱梅;師楊

1.一種制備觸摸屏的方法，該方法包括如下步驟：

a)在基板上形成導(dǎo)電層；

b)在所述導(dǎo)電層上形成防蝕圖案；以及

c)通過(guò)使用所述防蝕圖案經(jīng)過(guò)度蝕刻所述導(dǎo)電層形成具有比防蝕圖案的線寬小的線寬的第一導(dǎo)電圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括：d1)除了將導(dǎo)電層形成在第一導(dǎo)電圖案上而不是在基板上以外，以與步驟a)至c)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括：d2)在所述基板的形成有所述第一導(dǎo)電圖案的表面的相反面上以與步驟a)至c)相同的方式形成第二導(dǎo)電圖案；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：d)在步驟c)后形成第二導(dǎo)電圖案，并且所述步驟d)包括：d3)在以與步驟a)至c)相同的方式將所述第二導(dǎo)電圖案形成在另外的基板上后，將所述帶有第二導(dǎo)電圖案的基板的表面層壓到帶有第一導(dǎo)電圖案的基板的表面上或帶有第一導(dǎo)電圖案的表面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，其中，在步驟c)中，所述導(dǎo)電層的蝕刻時(shí)間為剛好蝕刻時(shí)間至比所述剛好蝕刻時(shí)間長(zhǎng)2000％的時(shí)間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：e)去除所述防蝕圖案；或f)在步驟c)后重新形成所述防蝕圖案以覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備觸摸屏的方法，其中，在步驟f)中，所述重新形成所述防蝕圖案的方法包括加熱處理、與溶劑接觸或溶劑熏蒸、等離子體處理、或加壓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：在步驟b)過(guò)程中或之后烘焙。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：在進(jìn)行步驟e)后，在所述第一導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。

10.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法，該方法進(jìn)一步包括：在步驟d)后，在所述第二導(dǎo)電圖案上形成絕緣層。

11.一種觸摸屏，其包括：基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述觸摸屏用根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的制備觸摸屏的方法制備。

12.一種觸摸屏，其包括：基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述導(dǎo)電圖案具有大于0度至小于90度的錐角。

13.一種觸摸屏，其包括：基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案具有大于0度至小于90度的錐角。

14.一種觸摸屏，其包括：基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案的錐角大于所述導(dǎo)電圖案的錐角。

15.一種觸摸屏，其包括：基板；在所述基板的至少一個(gè)表面上形成的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案和所述絕緣層圖案之間包含空隙。

16.一種觸摸屏，其包括：基板；形成在所述基板的至少一個(gè)表面上的導(dǎo)電圖案；和覆蓋所述導(dǎo)電圖案的絕緣層圖案或具有與所述導(dǎo)電圖案相應(yīng)的圖案和比所述導(dǎo)電圖案的線寬更寬的線寬的絕緣層圖案，其中在所述導(dǎo)電圖案線寬方向的橫截面中，從所述導(dǎo)電圖案的一端至所述絕緣層圖案的距離a和從所述導(dǎo)電圖案的另一端至所述絕緣層圖案的距離b之間的百分比a/b*100在90至110的范圍內(nèi)。

17.一種觸摸屏，其包括：基板；和在所述基板的至少一個(gè)表面上形成并具有100微米以下的線寬的導(dǎo)電圖案。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸屏，其進(jìn)一步包括：形成在所述導(dǎo)電圖案上的絕緣層圖案，其中所述絕緣層圖案覆蓋所述導(dǎo)電圖案或具有比所述導(dǎo)電圖案的線寬更大的線寬。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的觸摸屏，其中，所述導(dǎo)電圖案具有大于0度至小于90度的錐角。