[發明專利]反應室

無效

• 申請號: 201080006806.1
• 申請日: 2010-02-08
• 公開（公告）號: CN102308022A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發明（設計）人: J·佩爾托涅米;P·索伊尼寧
• 申請（專利權）人: BENEQ有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 林振波

技術領域

本發明涉及根據權利要求1前序所述的反應室，尤其是涉及用于原子層沉積反應器的反應室，該反應室包括用于在反應室內部提供反應空間的外壁。

背景技術

傳統地，用于ALD反應器(即在原子層沉積工藝中使用的反應器)的反應室由若干厚重板構成，其中，例如通過銑或鉆來提供必要的流動通道。為了獲得三維通道系統，多個這樣的板彼此疊置?？蛇x地，提供厚重且剛性的凸緣，凸緣上進一步焊接或用螺釘固定其它必要的部件。另一個現有技術的方案是使用供基體插入的管狀反應室。

上述裝置的問題是，盡管現有技術反應室的溫度平衡很好且易控，并且是自支撐結構，但是制造成本高，這是因為：在制造過程中反應室部件的大量材料被機加工去除，這意味著材料成本也變高。為了獲得期望的精度，機加工還很緩慢和麻煩。此外，當反應室的尺寸增大時，由于重量導致的應力，出現的另一個問題是這些厚重結構的耐用性和形狀保持能力。為了防止反應室的部件被損壞，必須極精確地匹配反應室的厚重剛性部件的相對運動。這使得反應室的結構復雜化。同時，對于大型基體來說管狀反應室的實施很麻煩；此外，在管狀反應室中，難以實現良好的氣流控制和材料效率。

發明內容

因此，本發明的目的是提供用于ALD反應器的反應室，以便能解決上述問題。本發明的目的可通過根據權利要求1特征部分所述的反應室來實現，該反應室的特征在于：反應室的至少一個外壁由柔性薄板構成。

獨立權利要求中公開了本發明的優選實施例。

在本發明中，原子層沉積(ALD)反應器的反應室外壁至少部分由薄板構成，該薄板例如可以是薄鋼板或由金屬構成的其它相應薄板。反應室可以由彼此上下放置和/或彼此內外放置的兩個或更多個薄板組裝形成。優選地，薄板部件被成型和放置成使得它們能夠形成反應室的反應空間和/或反應室中的氣體流動通道。在這種情況下，反應室可由前板、后板以及放置在它們之間的中間板構成，通過前板將氣體裝置引入反應室。這三個薄板部件能夠形成反應室的反應空間和/或反應室中的氣體流動通道?？蛇x地，僅僅一個外壁或多個外壁由薄板構成，而一些外壁可以由剛性或厚重件構成。

在上下文中，薄板表示可通過切削、成型和彎曲進行加工的薄板。薄板由金屬構成，例如鋼、鋁或銅，如果必要，薄板還可以被涂覆。大體上，薄板表示厚度為6mm或更小的板。

本發明的優點是，能夠以低成本的方式制造用于大面積基體的反應室。此外，薄板結構能夠獲得可以用簡單方式打開的反應室結構。另外，由薄板構成的反應室重量輕，因此甚至一個工人就可以拆卸。而且，由于薄板容易做成各種形狀和形式，因此很容易使薄板以及反應室具有所需的形式和形狀。薄板的柔性使得能夠容易地實現反應室的緊密性，因為薄板能夠使反應室具有至少部分柔性且適應性的結構。反應室的柔性結構也降低了為反應室部件設定的制造公差要求和相對移動精度要求。

附圖說明

現在參考附圖并結合優選實施例更加詳細地描述本發明，其中：

圖1是示出了根據本發明的反應室的一個實施例的示意性側剖圖；

圖2示意性地示出了俯視看圖1的反應室；以及

圖3是示出了根據本發明的反應室的外壁結構的第二實施例的示意性側剖圖。

具體實施方式