[發明專利]等離子體處理裝置

無效

• 申請號: 201080005412.4
• 申請日: 2010-01-25
• 公開（公告）號: CN102293066A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 野野村勝
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;G05B19/418;H01L21/304;H01L21/3065;H05H1/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

技術領域

本發明涉及一種對諸如板的待處理對象執行等離子體處理的等離子體處理裝置。

背景技術

等離子體處理被公知為一種用于清洗或刻蝕待處理對象(諸如其上安裝有電子部件的板)的表面處理方法。在等離子體處理中，待處理的板被放在形成處理腔的真空腔內。然后，在處理腔內產生等離子體放電，以使得作為等離子放電的結果而產生的離子和電子作用于板的表面，從而執行所希望的表面處理。例如通過離子和電子的微觀作用而引起等離子體處理。因而，難以通過諸如可視檢查的簡單方法來可靠地檢查在過程期間是否執行了適當的處理。為此原因，對于檢查是否對已經歷了等離子處理步驟的板合適地執行了等離子處理的方法，已使用了簡單的替換手段(見專利文件1和2)。

在專利文件1中，在待處理的板的表面上形成具有不同顏色和形狀的多層判斷標記，并且，根據判斷標記的可視改變來判斷等離子體移除判斷標記的程度。此外，在專利文件2中，在處理之后將板從真空腔撤出的撤出路徑上提供標記單元，并且，在處理之后被撤出的板上，用筆來作出顯示板已被處理的線狀標記。

相關技術文件

專利文件

專利文件1：JP-A-11-26917

專利文件2：JP-A-2000-150616

發明內容

本發明要解決的問題

近來，在制造要對其應用等離子體處理的電子部件的領域中，對于需要高耐久性的諸如車載部件的高質量的部件來說，需要與相關技術相比更詳細的質量管理。為此原因，即使在等離子體處理過程中，也需要不僅得到用于驗證執行了等離子體處理的過程完成的證據，還需要確保安排處理歷史信息的可追溯性，所述處理歷史信息指示為各個產品正常執行了等離子處理，由此，能夠從后續步驟執行回顧調查。然而，包括上述專利文件的例子的相關技術中的等離子體處理裝置不具有支持可追溯性的功能，并且，已需要用于確保等離子體處理中的可追溯性的措施。

本發明的目的是提供一種能夠確保等離子體處理中的可追溯性的等離子體處理裝置。

解決問題的手段

根據本發明的等離子體處理裝置包括真空腔、等離子體處理執行部分、操作條件參數存儲部分、裝置控制部分、放電狀態檢測單元、歷史信息存儲部分、日期和時間數據創建部分、對象指明數據輸出部分、數據記錄部分、以及制造歷史文件創建部分。真空腔形成容納待處理對象的處理腔。等離子體處理執行部分在處理腔中減少的壓力狀態下，將等離子體產生氣體引入處理腔中，通過施加高頻電壓來在處理腔中產生等離子體放電，并對在處理腔中容納的待處理對象執行等離子體處理。操作條件參數存儲部分存儲被設置為等離子體處理執行部分的操作條件的操作條件參數。裝置控制部分基于操作條件參數來控制等離子體處理執行部分。放電狀態檢測單元通過分析與等離子體的改變對應的電勢改變來檢測放電狀態，并基于檢測結果，對每個待處理對象判斷放電狀態的質量。日期和時間數據創建部分創建表示日期和時間的日期和時間數據。對象指明數據輸出部分輸出用于指明待處理對象的對象指明數據。數據記錄部分在每次結束待處理對象的等離子體處理時，讀出日期和時間數據、對象指明數據、表示等離子體處理執行部分的操作狀態的機器輸出數據、以及由放電狀態檢測單元執行的放電狀態的判斷結果，并以時間序列(time?series)的方式將所述數據存儲在歷史信息存儲部分中。制造歷史文件創建部分具有基于指定的時段或日期和時間而從歷史信息存儲部分讀出日期和時間數據、對象指明數據、機器輸出數據、以及放電狀態的判斷結果的功能，以及創建制造歷史文件的功能。

本發明的優點

根據本發明的等離子體處理裝置具有創建制造歷史文件的功能，所述制造歷史文件包括表示等離子體處理執行部分的操作狀態的機器輸出數據、以及由放電狀態檢測單元執行的放電狀態的判定結果。因而，所述等離子體處理裝置可以提供制造歷史文件，其是可追溯性所必需的信息。具體地，不僅使用由放電狀態檢測單元執行的放電狀態的判定結果，還使用表示那時的等離子體處理執行部分的操作狀態的機器輸出數據，作為支持已正常地執行了等離子體處理的信息。因而，提高了信息的可靠性。

此外，由于表示等離子體處理裝置的操作條件參數或等離子體處理中的圖像數據被添加到制造歷史文件中，所以可進一步提高信息的可靠性。

附圖說明