[發明專利]等離子體處理裝置

無效

• 申請號: 201080005412.4
• 申請日: 2010-01-25
• 公開（公告）號: CN102293066A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 野野村勝
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;G05B19/418;H01L21/304;H01L21/3065;H05H1/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

1.一種等離子體處理裝置，包括：

真空腔，形成容納待處理對象的處理腔；

等離子體處理執行部分，其在所述處理腔中減小的壓力狀態下，將等離子體產生氣體引入所述處理腔中，通過施加高頻電壓來在所述處理腔中產生等離子體放電，并對所述處理腔中容納的待處理對象執行等離子體處理；

操作條件參數存儲部分，存儲被設置為所述等離子體處理執行部分的操作條件的操作條件參數；

裝置控制部分，其基于所述操作條件參數來控制所述等離子體處理執行部分；

放電狀態檢測單元，其通過分析與等離子體的改變對應的電勢改變來檢測放電狀態，并基于檢測結果，對每個待處理對象判斷放電狀態的質量；

歷史信息存儲部分；

日期和時間數據創建部分，創建表示日期和時間的日期和時間數據；

對象指明數據輸出部分，其輸出用于指明所述待處理對象的對象指明數據；

數據記錄部分，其在每次結束對所述待處理對象的等離子體處理時，讀出所述日期和時間數據、所述對象指明數據、表示所述等離子體處理執行部分的操作狀態的機器輸出數據、以及表示由所述放電狀態檢測單元執行的放電狀態的判斷結果的判斷數據，并以時間序列的方式將所述數據存儲在所述歷史信息存儲部分中；以及

制造歷史文件創建部分，其具有基于指定的時段或日期和時間從所述歷史信息存儲部分讀出所述日期和時間數據、所述對象指明數據、所述機器輸出數據、以及所述放電狀態的判斷結果的功能，并具有創建制造歷史文件的功能。

2.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，

其中，所述數據記錄部分在每次結束對待處理對象的等離子體處理時，還讀出所述操作條件參數，并以時間序列的方式將所讀出的操作條件參數存儲在所述歷史信息存儲部分中，并且，

其中，所述制造歷史文件創建部分創建包括所述操作條件參數的制造歷史文件。

3.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，還包括：

照相機，其在所述等離子體處理中拍攝所述真空腔的內部的圖像，

其中，所述數據記錄部分在每次結束所述等離子體處理時，將所述照相機拍攝到的等離子體處理中的圖像數據以時間序列的方式存儲在所述歷史信息存儲部分中，并且，

其中，所述制造歷史文件創建部分創建包括所述圖像數據的制造歷史文件。