[發明專利]彩色濾光片生產線、生產線控制系統、生產線控制方法

有效

• 申請號: 201080003197.4
• 申請日: 2010-01-15
• 公開（公告）號: CN102216815A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 小河洋平;三山晃;畠康高;桑村健介
• 申請（專利權）人: 凸版印刷株式會社
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02F1/1335
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍

1.一種彩色濾光片生產線，其在基板上依序形成至少4種顏色的著色圖案，其特征在于：

該彩色濾光片生產線具備：

存儲基板的存儲裝置，

著色圖案形成生產線，包含：多臺處理裝置，為了進行光刻法的各個制造工序的處理而并列地設置；及多臺搬運裝置，連接該處理裝置之間，并根據在基板上所形成的著色圖案，向既定的處理裝置搬運基板；而在光刻法的各個制造工序，在形成兩種顏色的著色圖案時共用處理裝置中的至少一臺，

搬入裝置，將由該存儲裝置所提供的基板搬入該著色圖案形成生產線，以及

搬出裝置，將從該著色圖案形成生產線所排出的基板搬出到該存儲裝置；

該著色圖案形成生產線使基板重復循環到在基板上形成所需的著色圖案為止，并向該搬出裝置排出已形成所需的著色圖案的基板。

2.根據權利要求1所述的彩色濾光片生產線，其特征在于：

還具備有緩沖裝置，暫時存儲在該著色圖案形成生產線內循環的基板；

該著色圖案形成生產線通過向該緩沖裝置存儲基板及從該緩沖裝置排出基板，而對在形成該兩種顏色的著色圖案時所共用的處理裝置交替地提供應形成該兩種顏色中的一種顏色的著色圖案的基板和應形成該兩種顏色中的另一種顏色的著色圖案的基板。

3.一種生產線控制系統，其控制彩色濾光片生產線，而該彩色濾光片生產線包含：多臺處理裝置、連接該處理裝置的多臺搬運裝置以及暫時存儲多個基板的緩沖裝置，并在形成多種顏色的著色圖案時共用該處理裝置及該搬運裝置，其特征在于：

該生產線控制系統具備：

監視信息取得部，取得監視信息，該監視信息表示該處理裝置、該搬運裝置及該緩沖裝置各自的運行狀況；

動作控制部，控制該處理裝置、該搬運裝置以及該緩沖裝置的動作；以及

監視部，根據由該監視信息取得部所通知的監視信息，監視監視對象裝置的運行狀況，并對該動作控制部進行指示：停止從位于監視對象裝置的上游側的至少一臺裝置排出基板及解除停止。

4.根據權利要求3所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視信息包含有表示在各個裝置內的基板位置的基板位置信息；

該監視部根據所通知的基板位置信息計算監視對象裝置內的基板的滯留時間，并在判定所算出的滯留時間成為既定的臨限值以上的情況下指示該停止排出，在從該停止排出的指示經過既定時間后指示該解除停止。

5.根據權利要求3所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視信息包含有表示該緩沖裝置的空段數的空段數信息；

該監視部根據所通知的空段數信息，在應監視的緩沖裝置的空段數成為既定的下限值以下的情況下指示該停止排出，而在空段數超過既定的上限值的情況下指示該解除停止。

6.根據權利要求3所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視信息包含有表示在各個裝置內的基板位置的基板位置信息；

該監視部將從在該彩色濾光片生產線內所預先規定的多個位置所選擇的多個位置的組合定義為監視區，并根據所通知的基板位置信息算出該監視區內的基板個數，在所算出的基板個數成為既定的上限值以上的情況下指示該停止排出，而在所算出的基板個數成為未滿既定的下限值的情況下指示該解除停止。

7.根據權利要求3所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視信息包含有緩沖裝置內滯留時間信息，其表示緩沖裝置內所存儲的各個基板的緩沖裝置內滯留時間；

該監視部根據所通知的緩沖裝置內滯留時間信息，在應監視的緩沖裝置內的基板的滯留時間成為既定的上限值以上的情況下指示該停止排出，而在由應監視的緩沖裝置及其上游側的多個位置所規定的區內的基板個數成為既定的臨限值以下的情況下指示該解除停止。

8.根據權利要求3所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視信息包含有表示各個裝置是否是正常運行中的正常運行信息；

該監視部根據所通知的正常運行信息，在監視對象裝置的運行狀態從正常變成異常的情況下指示該停止排出，而在該運行狀態從異常恢復正常的情況下指示該解除停止。

9.根據權利要求3到8中任意一項所述的生產線控制系統，其特征在于：

該監視部在指示該停止排出的情況下，進一步對監視對象裝置上游側的緩沖裝置指示存儲應由監視對象裝置處理的基板。