[發明專利]彩色濾光片生產線、生產線控制系統、生產線控制方法

有效

• 申請號: 201080003197.4
• 申請日: 2010-01-15
• 公開（公告）號: CN102216815A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 小河洋平;三山晃;畠康高;桑村健介
• 申請（專利權）人: 凸版印刷株式會社
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02F1/1335
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍

技術領域

本發明涉及用于制造在液晶顯示裝置等中所使用的彩色濾光片的彩色濾光片生產線、用于控制該生產線的生產線控制系統及生產線控制方法。

背景技術

作為在液晶顯示裝置中所使用的彩色濾光片的制造方法，一般利用光刻法在玻璃基板上形成多種顏色的著色圖案的方法。例如，在制造設置有黑色矩陣(黑)、以及紅、綠、藍共4種顏色的著色圖案的彩色濾光片時，對黑、紅、綠、藍各種顏色重復進行一連串的著色圖案形成處理，其包含基板的清洗、對基板上涂敷著色材料、使用光罩的曝光、顯像、后烘烤各個制造工序。并且，在制造設置有黑色矩陣(黑)、以及紅、綠、藍、黃共5種顏色的著色圖案的彩色濾光片時，對黑、紅、綠、藍、黃各種顏色重復上述著色圖案形成處理。

圖10為表示現有的彩色濾光片生產線的示意圖，圖11為表示圖10所示的彩色濾光片生產線的一部分的方塊圖。

為了進行上述各種顏色的著色圖案形成處理，在圖10所示的現有的彩色濾光片生產線，串聯地設置用于形成黑、紅、綠、藍這4種顏色的著色圖案的4條處理生產線92a～92d。

處理生產線92a例如為用于產生黑色矩陣的圖案，具備搬入由存儲裝置91所提供的基板的搬入裝置LD、清洗裝置93、涂敷裝置94、曝光裝置95、顯像裝置96、烘烤裝置97及將基板搬出到存儲裝置91的搬出裝置ULD。這些各裝置之間由搬運基板的搬運裝置81～86連接。并且，在涂敷裝置94的下游設置檢查膜厚或涂敷不均的線上檢查裝置98，而在顯像裝置96的下游設置檢查所形成的圖案的線上檢查裝置99。并且，在搬運裝置6上連接有用于進行基板的抽取檢查的抽取檢查裝置70和修補基板的修補裝置71。

在存儲裝置91的內部，基板以收納于料匣(cassette)的狀態被存儲。搬入裝置LD從自存儲裝置91所收到的料匣取出基板，并提供給搬運裝置81。所提供的基板由搬運裝置81向清洗裝置93搬運、清洗后，由搬運裝置82向涂敷裝置94搬運，由涂敷裝置94涂敷包含有黑色的著色材料的光阻劑。被涂敷光阻劑的基板，由檢查裝置98檢查后，由搬運裝置83搬運到曝光裝置95，由曝光裝置95使用光罩進行曝光處理。曝光后的基板由搬運裝置84向顯像裝置96搬運并進行顯像后，在由搬運裝置85所進行的搬運過程中由檢查裝置99檢查。對檢查無異常的基板，由烘烤裝置97進行后烘烤處理，由搬運裝置86向搬出裝置ULD搬運。搬出裝置ULD將所收到的基板收納于料匣，并將該料匣搬出到存儲裝置91。

雖然各裝置在某種程度下遵守周期進行動作，但是由于裝置的故障或異常處理所引起的處理時間的增加等，有時會在生產線內發生基板滯留的現象。因此，在預先被預測滯留的位置的搬運裝置設置用于暫時存儲滯留基板的緩沖裝置(未圖示)。緩沖裝置一般具有多段棚架結構，并具備有根據由控制裝置所進行的控制，存儲多個基板，并且向搬運路徑上排出所存儲的基板的功能。通過將緩沖裝置適當地配置于生產線內，可緩沖基板的滯留，并提高各處理裝置的運行效率。

并且，其它的處理生產線92b～92d也由和處理生產線92a所包含的一樣的處理裝置、搬運裝置及檢查裝置所構成。

已利用處理生產線92a產生黑色矩陣圖案的基板，在被收納于料匣的狀態下，被提供到下游的處理生產線92b，利用處理生產線92b形成紅色的著色圖案。以后，同樣經由處理生產線92c及92d的處理，在基板上形成4種顏色的著色圖案。

【專利文獻1】日本特開2004-109968號公報

【專利文獻2】日本特開2008-108878號公報

【專利文獻3】日本特開2004-103947號公報

發明內容

在上述現有的彩色濾光片生產線，由于需要所形成的著色圖案的顏色數量的處理生產線，因此存在有生產線的設置所需的空間變大的問題。近年來，由于玻璃基板的尺寸大型化，因此上述制造線的設置所需的空間也隨著基板尺寸的大型化而增大，從而導致制造設備所需的成本增加。

并且，在該彩色濾光片生產線，構成處理生產線的各處理裝置(清洗、涂敷、曝光、顯像及烘烤的各裝置)及檢查裝置、以及連接這些裝置的搬運裝置需要與著色圖案的色數相應的臺數。因此，所需的裝置臺數變多也同時導致了制造設備所需的成本增多。

除了這種問題以外，在設置緩沖裝置時，也有如下問題。

在具備有緩沖裝置的彩色濾光片生產線中，有可能產生長期存儲在緩沖裝置的基板、或緩沖裝置收納不下而滯留在搬運路徑上的基板。但是，從著色圖案的形成開始到結束為止的處理時間變長會有損于質量。