[發(fā)明專利]剝離裝置有效

申請?zhí)枺?/td>	201080003114.1	申請日：	2010-08-18
公開（公告）號：	CN102202994A	公開（公告）日：	2011-09-28
發(fā)明（設計）人：	江畑研一;伊藤泰則	申請（專利權）人：	旭硝子株式會社
主分類號：	B65H41/00	分類號：	B65H41/00;H01L21/683
代理公司：	中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11219	代理人：	高培培;車文
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	剝離裝置
鉆瓜網(wǎng) 技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

本發(fā)明涉及對貼附在基板上的加強片進行剝離的剝離裝置。

背景技術

近年來，顯示面板、太陽電池、薄膜二次電池等電子設備的薄型化、輕量化不斷發(fā)展，所述電子設備中使用的玻璃基板的薄板化不斷發(fā)展。由于薄板化而玻璃基板的強度下降時，玻璃基板的處理性下降，因此難以在玻璃基板上形成電子設備用部件(例如薄膜晶體管或濾色器)。

相對于此，在專利文獻1中公開有在玻璃基板上可剝離地貼附有加強片的層疊體。在玻璃基板上的與加強片側(cè)的相反的一側(cè)的面上形成了電子設備用部件之后，通過將貼附在玻璃基板上的加強片剝離，而能夠補充玻璃基板的強度的下降。

另外，在專利文獻1中記載有為了將貼附在玻璃基板上的加強片剝離而使剃刀的刃等插入玻璃基板與加強片之間來進行初始剝離的方法。通過進行初始剝離，而能夠容易進行之后的剝離。

另一方面，在專利文獻2中提出有一種對貼附在吸附部件上的玻璃基板進行剝離的剝離裝置，在玻璃基板上安裝板狀的撓性部件，并使固定在撓性部件上的多個桿以每一個桿為單位沿桿的軸方向伸縮，從而使玻璃基板從兩端側(cè)開始依次發(fā)生彎曲變形而進行剝離。

另外，在專利文獻3中記載有一種對貼附在樹脂基板上的加強片進行剝離的剝離裝置，使旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)并使旋轉(zhuǎn)體的曲面依次與加強片的上表面接觸，從接觸的部分開始，使加強片依次發(fā)生彎曲變形而進行剝離。

專利文獻1：國際公開第08/007622號小冊子

專利文獻2：日本特開2000-84844號公報

專利文獻3：日本特開2004-142878號公報

在專利文獻1中，未對初始剝離后的剝離方法進行具體說明。因此，考慮使用專利文獻2所記載的剝離裝置的方法作為初始剝離后的剝離方法。例如，在加強片上安裝板狀的撓性部件，使固定在撓性部件上的多個桿以每一個桿為單位沿軸方向伸縮，使加強片從一端側(cè)開始(即，從進行了初始剝離的位置開始)依次發(fā)生彎曲變形而進行剝離。

然而，在專利文獻2所記載的剝離裝置中，各桿無法沿軸正交方向移動，因此存在妨礙加強片的彎曲變形的情況。加強片的彎曲變形較小時，加強片與基板大致平行地剝離，因此用于剝離的力增大，剝離變得困難。因此，在加強片含有樹脂層且該樹脂層與基板密接的情況下，剝離時樹脂層有可能凝集破壞而附著在基板上。

另一方面，在專利文獻3中，由于通過旋轉(zhuǎn)體的曲面形狀來決定加強片的彎曲變形的程度，因此難以應對剝離對象的變更。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述課題而作出，其目的在于提供一種能夠容易地將貼附在基板上的加強片剝離且能夠容易地應對剝離對象的變更的剝離裝置。

為了解決上述目的，本發(fā)明涉及一種剝離裝置，將貼附在基板上的加強片剝離，具備：

對包含所述基板及所述加強片的層疊體的一個主面進行支承的支承單元；

安裝在所述層疊體的另一個主面上的板狀的撓性部件；

固定在所述撓性部件上的與所述層疊體側(cè)相反的一側(cè)的面上的多個墊；

分別與所述多個墊連結(jié)的多個桿；

用于使所述多個桿以每一個桿為單位沿軸方向移動的多個驅(qū)動裝置；及

對所述多個桿的位置以每一個桿為單位進行控制的控制裝置，

所述多個墊經(jīng)由多個接頭中的任一個與所述多個桿中的任一個連結(jié)，并能夠以所述被連結(jié)的桿的中心線與所述加強片上的所述基板側(cè)的面或所述基板上的所述加強片側(cè)的面的交點附近為中心進行轉(zhuǎn)動，