[發明專利]靶構造及靶構造的制造方法

無效

• 申請號: 201080001207.0
• 申請日: 2010-01-19
• 公開（公告）號: CN101960043A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 上野順
• 申請（專利權）人: 上野順
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

技術領域

本發明涉及具有噴濺用的靶、和固定有該靶且用于冷卻該靶的冷卻板的靶構造及其制造方法。

背景技術

在例如半導體裝置的制造過程等中，使用在襯底上進行成膜的噴濺裝置。噴濺裝置具有通過離子化的氣體等的碰撞放出所期望的原子的噴濺用的靶。該靶T如圖4所示，其背面側接合在背板B上。在噴濺時，由于通過離子的碰撞等靶表面的溫度上升，因此，必須冷卻靶T。由此，在背板B的內部，形成有供通常冷卻水流動的冷卻水流路A。

以往，例如為提高用于冷卻的熱傳導性，靶T和背板B通過所謂鍵合接合。鍵合是將鍵合材料C夾設在靶T和背板B的接合面上，通過將靶T和背板B貼合來進行。

專利文獻1：日本專利公開公報2007-051308號

但是，上述鍵合使用價格較高的In、Sn等鍵合材料，另外，需要進行靶和背板的位置對齊或接合面的改質處理、鍵合材料的涂布、加熱處理等多個工序。因此，在鍵合中，花費成本和時間。另一方面，若不進行鍵合而單純用其他方法進行固定，則靶和背板之間的熱傳導性降低。

發明內容

本發明鑒于上述問題而研發，其目的是提供一種具有靶和固定板的靶構造及其制造方法，能夠維持靶和背板等固定板之間的熱傳導性，并且能夠以更低的成本在短時間內制造。

為了實現上述目的，本發明的靶構造，具有：噴濺用的靶；固定有該靶且用于對該靶進行冷卻的固定板，在所述固定板上，形成有供冷卻流體流動的流體流路，該流體流路形成在與噴濺時所述靶的消耗相對多的部分相對的位置，所述固定板和所述靶通過在沒有所述流體流路的位置上貫通所述固定板的螺釘固定，所述靶的一部分向所述流體流路露出。

根據本發明，由于通過螺釘固定靶和固定板，所以能夠簡化靶構造的制造工序。由此，與通過鍵合固定的情況相比，能夠大幅降低制造成本。另外，制造時間也能夠大幅縮短。而且，由于靶的一部分向流體流路露出，所以能夠確保靶和固定板之間的熱傳導性。另外，固定板的流體流路被設置在噴濺時靶的消耗多且成為高溫的部分上。由此，像本發明這樣，通過在沒有所述流體流路的位置上貫通所述固定板的螺釘來固定靶和固定板，由此，能夠在靶的消耗少的位置，也就是在靶的厚度被維持的部分進行螺紋緊固。因此，即使通過長時間的使用靶被消耗，也能夠維持靶和固定板的固定。

能夠在所述固定板的固定有所述靶的表面上，形成有供所述冷卻流體流動的槽，所述靶和所述固定板通過所述螺釘被固定，由此所述槽被所述靶封閉而形成所述流體流路。該情況下，不需要例如像在固定板上形成有貫通內部的流體流路的情況那樣，對例如預先分割地形成的一半固定板之間進行焊接等，因此，能夠容易地進行固定板的加工。另外，拆下靶時，固定板的流體流路露出，所以，例如通過長時間的使用，也能夠對滯留在流體流路內的異物進行檢查和除去。由此，能夠延長固定板的產品壽命。

另外，可以在所述靶的被固定于所述固定板上的表面上，形成有嵌合在所述槽中且封閉所述槽的凸部。該情況下，在凸部的部分能夠確保靶的厚度，所以，即使在流體流路中流動高壓的冷卻流體從而提高冷卻效率，也能夠確保靶的耐性。另外，由于凸部嵌合于槽中，所以流體流路的氣密性提高。而且，能夠容易地進行固定時的靶和固定板的定位。

根據其他觀點的本發明的靶構造的制造方法，該靶構造具有：噴濺用的靶；固定有該靶且用于對該靶進行冷卻的固定板，將供冷卻流體流動的流體流路形成在所述固定板上的與噴濺時所述靶的消耗相對多的部分相對的位置上，通過在沒有所述流體流路的位置上貫通所述固定板的螺釘來固定所述固定板和所述靶，并使所述靶的一部分向所述流體流路露出。

發明的效果

根據本發明，能夠維持靶和固定板之間的熱傳導性，并且能夠以更低的成本在短時間內制造靶構造。

附圖說明

圖1是表示靶構造的結構的縱剖面的說明圖。

圖2是俯視觀察靶構造時的說明圖。

圖3是表示靶通過噴濺被消耗的狀態的靶構造的說明圖。

圖4是表示使用了鍵合的靶構造的結構的縱剖面的說明圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明的優選實施方式進行說明。圖1是表示本實施方式的靶構造1的大致結構的縱截面的說明圖。此外，在本說明書及附圖中，關于具有實質相同的功能結構的構成要素，標注相同的附圖標記并省略重復說明。

靶構造1具有：噴濺用的板狀的靶10；固定有靶10且冷卻靶10的板狀的作為固定板的背板11。對于靶10的材質，使用例如Al、Cu、Mo、ITO、Si、AZO等，對于背板11的材質，使用例如Cu或Al、Ti、不銹鋼等。