[發明專利]靶構造及靶構造的制造方法無效
| 申請號： | 201080001207.0 | 申請日： | 2010-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN101960043A | 公開（公告）日： | 2011-01-26 |
| 發明（設計）人： | 上野順 | 申請（專利權）人： | 上野順 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 陳偉 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 構造 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶構造，具有：噴濺用的靶；固定有該靶且用于對該靶進行冷卻的固定板，其特征在于，
在所述固定板上，形成有供冷卻流體流動的流體流路，該流體流路形成在與噴濺時所述靶的消耗相對多的部分相對的位置上，
所述固定板和所述靶通過在沒有所述流體流路的位置貫通所述固定板的螺釘被固定，
所述靶的一部分向所述流體流路露出。
2.如權利要求1所述的靶構造，其特征在于，在所述固定板的固定有所述靶的表面上，形成有供所述冷卻流體流動的槽，
所述靶和所述固定板通過所述螺釘被固定，由此，所述槽被所述靶封閉而形成所述流體流路。
3.如權利要求2所述的靶構造，其特征在于，在所述靶的被固定在所述固定板上的表面上，形成有嵌合在所述槽中且封閉所述槽的凸部。
4.一種靶構造的制造方法，該靶構造具有：噴濺用的靶；固定有該靶且用于對該靶進行冷卻的固定板，靶構造的制造方法的特征在于，
將供冷卻流體流動的流體流路形成在所述固定板上的與噴濺時所述靶的消耗相對多的部分相對的位置上，通過在沒有所述流體流路的位貫置通所述固定板的螺釘來固定所述固定板和所述靶，并使所述靶的一部分向所述流體流路露出。
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