[實用新型]輝光放電離子源裝置用供氣系統

有效

• 申請號: 201020697897.5
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN201910396U
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 劉湘生;劉英;潘元海;李繼東;王長華
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 趙郁軍

技術領域

本實用新型涉及一種供氣系統，尤指一種用于輝光放電離子源裝置的供氣系統。

背景技術

中國實用新型專利“一種輝光放電離子源裝置”(授權公告號為CN201590398U，申請號為200920246956.4，申請日為2009年11月10日)中公開的輝光放電離子源裝置屬于低氣壓氣體放電，放電區處于非熱平衡狀態，靠高能電子碰撞、亞穩態Ar粒子的潘寧(Penning)碰撞電離，其激發能量高、電離度高，周期表上的絕大多數元素均能被其電離，其是質譜系統的一種很好的離子源。而且，該輝光放電離子源裝置涉及的輝光放電離子源質譜(GDMS)分析技術具有分析靈敏度高、檢測限制低、分析準確度好、測定的動態范圍寬、可多元素快速分析、對各種元素的響應較均一、可采用相對靈敏度因子(RSF)校正、可實現少標樣或無標樣分析等優點，是目前對固體導電材料進行痕量及超痕量元素分析中最有效的分析技術之一。

該輝光放電離子源裝置正常、穩定工作的基本條件是：輝光放電離子源裝置內必須充有一定壓力的載氣(一般為氬氣)，載氣的壓力應可按需要進行調節，并在整個工作過程中保持穩定；輝光放電過程中所產生的各類物粒會使載氣的純度變壞而破壞輝光放電的穩定性，因此，載氣在整個工作過程中應能不斷得到純化。另外，輝光放電離子源裝置是一種開放式的結構，分析樣品要作為密封離子源裝置的一個部件，因此，在更換分析樣品時，需充入一個大氣壓的空氣，但是，當在實驗環境很差的條件下通過充入空氣來更換分析樣品時，充入空氣的同時，蒸汽、水分或雜質等會進入輝光放電離子源裝置并吸附在其內，污染輝光放電離子源裝置，因而，在實驗環境差的條件下更換分析樣品時，應該用載氣來替代空氣。

由此可見，輝光放電離子源裝置所需的供氣系統應具備如下功能：抽去輝光放電離子源裝置中的氣體、更換分析樣品時充入空氣或載氣、充入所需壓力的載氣并保持載氣的壓力穩定、輝光放電離子源裝置中的載氣可不斷被更新來保持純度。因此，設計出一種具有上述功能的供氣系統是目前應解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種輝光放電離子源裝置用供氣系統，該供氣系統很好地滿足了輝光放電離子源裝置對載氣壓力、純度等方面的要求。

為了實現上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：

一種輝光放電離子源裝置用供氣系統，其特征在于：它包括一個穩壓閥、一個微調閥、一個進氣閥門、兩個真空泵，其中：載氣源的輸出口經由該穩壓閥、微調閥、進氣閥門與輝光放電離子源裝置的進氣口連接，該進氣口經由一個充空氣閥門與外部大氣連通，兩個該真空泵分別經由一個抽氣閥門與該輝光放電離子源裝置上相應的抽氣口連接。

本實用新型的優點是：在輝光放電過程中，本實用新型供氣系統可使輝光放電離子源裝置內的載氣壓力處于動態平衡狀態，且使輝光放電離子源裝置中的載氣可被不斷更新，保持輝光放電過程中離子源裝置內載氣的純度，提高了輝光放電的穩定性。在很差的實驗環境下更換分析樣品時，可通過本實用新型供氣系統向離子源裝置內充入載氣(通常為氬氣)，從而在載氣氛圍下更換分析樣品，避免外部空氣中的蒸汽、水分或雜質等進入離子源裝置而對離子源裝置造成污染。

附圖說明

圖1是本實用新型供氣系統的組成示意圖。

具體實施方式

本實用新型供氣系統是專為輝光放電離子源裝置設計的，有關輝光放電離子源裝置的詳細情況可參閱授權公告號為CN201590398U的中國實用新型專利“一種輝光放電離子源裝置”中的描述，在這里不再加以贅述。

如圖1所示，本實用新型輝光放電離子源裝置用供氣系統包括一個穩壓閥2、一個微調閥4、一個進氣閥門7、兩個真空泵14、15，其中：載氣源1的輸出口經由該穩壓閥2、微調閥4、進氣閥門7與輝光放電離子源裝置16的進氣口連接，該進氣口經由一個充空氣閥門11與外部大氣連通，兩個該真空泵分別經由一個抽氣閥門與該輝光放電離子源裝置16上相應的抽氣口連接，即真空泵14經由抽氣閥門8與輝光放電離子源裝置16上的一個抽氣口連接而真空泵15經由抽氣閥門9與輝光放電離子源裝置16上的另一個抽氣口連接。