[實用新型]輝光放電離子源裝置用供氣系統

有效

• 申請號: 201020697897.5
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN201910396U
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 劉湘生;劉英;潘元海;李繼東;王長華
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 趙郁軍

1.一種輝光放電離子源裝置用供氣系統，其特征在于：它包括一個穩壓閥、一個微調閥、一個進氣閥門、兩個真空泵，其中：

載氣源的輸出口經由該穩壓閥、微調閥、進氣閥門與輝光放電離子源裝置的進氣口連接，該進氣口經由一個充空氣閥門與外部大氣連通，兩個該真空泵分別經由一個抽氣閥門與該輝光放電離子源裝置上相應的抽氣口連接。

2.如權利要求1所述的供氣系統，其特征在于：

一個所述抽氣閥門的輸入口與位于所述輝光放電離子源裝置的空心腔室端部的抽氣口連接，另一個所述抽氣閥門的輸入口經由輝光放電離子源質譜接口裝置與位于所述輝光放電離子源裝置的空心腔室中部的抽氣口連接。

3.如權利要求2所述的供氣系統，其特征在于：

所述載氣源的輸出口與所述充空氣閥門的輸出口之間連接一個充載氣閥門。

4.如權利要求3所述的供氣系統，其特征在于：

所述進氣閥門、充空氣閥門、充載氣閥門、抽氣閥門為電磁閥，所述進氣閥門、充空氣閥門、充載氣閥門、抽氣閥門的控制端分別與控制系統上相應的控制端連接。

5.如權利要求1至4中任一項所述的供氣系統，其特征在于：

每個所述真空泵的輸入口連接一個泵閥。

6.如權利要求5所述的供氣系統，其特征在于：

所述泵閥為電磁閥。

7.如權利要求1至4中任一項所述的供氣系統，其特征在于：

所述輝光放電離子源裝置上的進氣口處設置皮拉尼規管和壓力真空計。

8.如權利要求1至4中任一項所述的供氣系統，其特征在于：

所述微調閥為針形微調閥。

9.如權利要求1至4中任一項所述的供氣系統，其特征在于：

所述穩壓閥的輸出口處設置壓力表。