[實用新型]化合物半導體加熱裝置無效

申請號：	201020695061.1	申請日：	2010-12-31
公開（公告）號：	CN201933198U	公開（公告）日：	2011-08-17
發明（設計）人：	周雅清	申請（專利權）人：	樂山凱亞達光電科技有限公司
主分類號：	C30B15/14	分類號：	C30B15/14
代理公司：	成都中亞專利代理有限公司 51126	代理人：	陳亞石
地址：	614007 四川***	國省代碼：	四川;51
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摘要：
搜索關鍵詞：	化合物半導體加熱裝置
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【權利要求書】：

1.一種化合物半導體加熱裝置，包括有保溫壁（2），保溫壁（2）上設置有保溫蓋（1），其特征在于：保溫壁（2）內設置有石墨加熱器（5），在石墨加熱器（5）內通過托碗（6）設置有石英坩堝（7），托碗（6）通過坩堝托桿（8）支撐，保溫壁（2）下設置有絕緣墊片（3），石墨加熱器（5）的引腳與電極（4）連接。

2.根據權利要求1所述的化合物半導體加熱裝置，其特征在于：所述石墨加熱器（5）為U型石墨加熱器。

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