[實用新型]發電用太陽能高溫集熱管臥式鍍膜機

無效

• 申請號: 201020686580.1
• 申請日: 2010-12-29
• 公開（公告）號: CN201942744U
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 李云輝;李云松;華冬輝
• 申請（專利權）人: 衡陽市真空機電設備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50
• 代理公司: 衡陽市科航專利事務所 43101
• 代理人: 劉勛階

技術領域

本實用新型涉及一種真空鍍膜專用設備，特別是一種發電用太陽能高溫集熱管臥式鍍膜機，是專用于鍍制太陽能槽式發電用高質量真空太陽能高溫集熱管的設備。

背景技術

現在國內市場最常見的集熱管鍍膜機都是立式結構，生產出的中、低溫集熱管長度大都在1.5-2.1米以內，結構形式為雙層單端開口，且用水作為傳熱介質，導熱溫度要求不高，主要用于太陽能熱水器及其他熱水工程等使用，不能滿足太陽能發電用高溫集熱管的需要。發電用高溫真空集熱管結構形式為雙層雙端開口，是在直徑70、長度4060的合金管上鍍制光選擇性吸收涂層,?它用高溫油作為傳熱介質，與普通中、低溫集熱管相比,?除結構形式不一樣外，而且它更大更長,導熱溫度要求高,對光選擇性吸收涂層的吸收比、發射比及牢固度、熱膨脹性能都有更高的要求。

采用太陽能光伏發電成本太高，而采用光熱轉換太陽能槽式發電相對成本低、效率高且在世界多國已有成功案例。太陽能槽式發電是一個復雜的系統工程。在我國尚處于發展起步階段。生產出高質量的發電用高溫真空集熱管，是解決這個復雜的系統工程當中的幾大核心技術難點之一。

發明內容

本實用新型的目的是在克服上述現有技術的不足，而提供一種結構合理、使用方便的發電用太陽能高溫集熱管臥式鍍膜機，以滿足鍍制太陽能槽式發電用太陽能高溫集熱管的需要。

本實用新型的技術方案是：一種發電用太陽能高溫集熱管臥式鍍膜機，包括圓柱形臥式上開門結構的真空室、靶安裝管件、工件架、固定齒盤、支承輪和旋轉驅動機構，真空室在長度方向均布有多套獨立的真空抽氣裝置，靶安裝管件通過左、右法蘭安裝在真空室內的左、右側板上，其上通過安裝法蘭安裝有平面磁控靶或/和旋轉園柱磁控靶；工件架是可整體吊裝的可旋轉工件架，其安放在四個支承輪上，包括轉盤、齒盤、連桿和工件裝取機構，轉盤和齒盤分別安裝在靶安裝管件的左、右兩端，并用連桿連接，齒盤外周有齒，工件裝取機構一端有與固定齒盤嚙合的自轉齒輪，另一端用于安裝工件；固定齒輪通過支承柱固定在真空室的右側板上，其外周有與自轉軸一端的自轉齒輪嚙合的齒，旋轉驅動機構是為工件架的運動提供動力的齒輪傳動機構，它包括動力輸入軸和動力輸入軸連接的驅動齒輪，驅動齒輪與轉盤嚙合。

本實用新型進一步的技術方案是：靶安裝管件上還通過隔板座安裝有隔板，將靶與靶之間合理隔開，避免交叉污染。

本實用新型更進一步的技術方案是：隔板采用活頁式可插拔結構。

本實用新型再進一步的技術方案是:工件裝取機構采用可伸縮的自轉軸結構。

本實用新型采用如上技術方案，與現有技術相比，具有如下特點：

1、在現有集熱管鍍膜機的基礎上將立式結構改為臥式結構，破解了超長管鍍膜所引起的設備超高、廠房超高、使用維護等許多難題；

2、工件架上的工件裝取機構采用可伸縮的自轉軸結構，解決了超長管工件裝取的困難，方便可靠；

3、在現有集熱管鍍膜機的基礎上增加了偏壓電源或離子源，對工件金屬管轟擊清洗，使膜的質量更好更牢固；

4.?采用分子泵組成真空抽氣系統，比油擴散泵節能70％以上，且節省輔助工作時間，生產節拍更加緊湊，沒有油氣污染，膜層的質量更有保證。

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型的詳細結構作進一步描述。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1的A-A剖視圖。

具體實施方式

如圖1、2所示：一種發電用太陽能高溫集熱管臥式鍍膜機，包括圓柱形臥式上開門結構的真空室1、靶安裝管件2、工件架3、固定齒盤4、支承輪5和旋轉驅動機構，真空室1在長度方向均布有多套獨立的真空抽氣裝置6，靶安裝管件2通過左、右法蘭7安裝在真空室1內的左、右側板11上，其上通過安裝法蘭21安裝有平面磁控靶22或/和旋轉園柱磁控靶23，靶安裝管件2上還通過隔板座24安裝有隔板25，將靶與靶之間合理隔開，避免交叉污染，隔板25采用活頁式可插拔結構；工件架3是可整體吊裝的可旋轉工件架，安放在四個支承輪5上，由轉盤31、齒盤32、連桿33和可伸縮的左、右自轉軸34組成，轉盤31和齒盤32分別安裝在靶安裝管件2的左、右兩端，并用連桿33連接，齒盤32外周有齒，右自轉軸34一端有與固定齒盤4嚙合的自轉齒輪35，另一端用于安裝工件36；固定齒輪4通過支承柱41固定在真空室1的右側板11上，其外周有與自轉軸34一端的自轉齒輪35嚙合的齒，旋轉驅動機構是為工件架3的運動提供動力的齒輪傳動機構，它包括動力輸入軸8和動力輸入軸8連接的驅動齒輪9，驅動齒輪9與轉盤31嚙合。