[實(shí)用新型]發(fā)電用太陽(yáng)能高溫集熱管臥式鍍膜機(jī)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020686580.1
• 申請(qǐng)日: 2010-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201942744U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李云輝;李云松;華冬輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 衡陽(yáng)市真空機(jī)電設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50
• 代理公司: 衡陽(yáng)市科航專(zhuān)利事務(wù)所 43101
• 代理人: 劉勛階

1.一種發(fā)電用太陽(yáng)能高溫集熱管臥式鍍膜機(jī)，其特征是包括圓柱形臥式上開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)的真空室、靶安裝管件、工件架、固定齒盤(pán)、支承輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，真空室在長(zhǎng)度方向均布有多套獨(dú)立的真空抽氣裝置，靶安裝管件通過(guò)左、右法蘭安裝在真空室內(nèi)的左、右側(cè)板上，其上通過(guò)安裝法蘭安裝有平面磁控靶或/和旋轉(zhuǎn)園柱磁控靶；工件架是可整體吊裝的可旋轉(zhuǎn)工件架，其安放在四個(gè)支承輪上，包括轉(zhuǎn)盤(pán)、齒盤(pán)、連桿和工件裝取機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)盤(pán)和齒盤(pán)分別安裝在靶安裝管件的左、右兩端，并用連桿連接，齒盤(pán)外周有齒，工件裝取機(jī)構(gòu)一端有與固定齒盤(pán)嚙合的自轉(zhuǎn)齒輪，另一端用于安裝工件；固定齒輪通過(guò)支承柱固定在真空室的右側(cè)板上，其外周有與自轉(zhuǎn)軸一端的自轉(zhuǎn)齒輪嚙合的齒，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是為工件架的運(yùn)動(dòng)提供動(dòng)力的齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，它包括動(dòng)力輸入軸和動(dòng)力輸入軸連接的驅(qū)動(dòng)齒輪，驅(qū)動(dòng)齒輪與轉(zhuǎn)盤(pán)嚙合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)電用太陽(yáng)能高溫集熱管臥式鍍膜機(jī)，其特征是靶安裝管件上還通過(guò)隔板座安裝有隔板，將靶與靶之間合理隔開(kāi)，避免交叉污染。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)電用太陽(yáng)能高溫集熱管臥式鍍膜機(jī)，其特征是隔板采用活頁(yè)式可插拔結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的發(fā)電用太陽(yáng)能高溫集熱管臥式鍍膜機(jī)，其特征是工件裝取機(jī)構(gòu)采用可伸縮的自轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)。