[實用新型]輔助定位裝置

有效

• 申請號: 201020683500.7
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN201918378U
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 高慧敏;張順勇;張佐兵;林岱慶;陳宏領
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種輔助定位裝置，用于確定芯片上目標芯片單元的位置，其特征在于，包括：

芯片臺，所述芯片放置在所述芯片臺上，且所述芯片的中心與所述芯片臺的中心重合，所述芯片臺的直徑大于所述芯片的直徑；

芯片臺罩，與所述芯片臺活動相連，其表面的中心設有一圓形開口，所述開口的直徑等于所述芯片的直徑；

直尺，所述直尺的數量為兩個，所述兩直尺設置在所述芯片臺罩上，且所述兩直尺相互垂直，并分別沿另一直尺在所述芯片臺罩上自由移動。

2.如權利要求1所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述芯片臺罩的表面呈長方形或正方形。

3.如權利要求2所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述芯片臺罩的內側壁上開有凹槽，且所述凹槽緊貼所述芯片臺罩的表面。

4.如權利要求3所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述直尺設置在所述凹槽內。

5.如權利要求1所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述芯片臺罩與所述芯片臺通過鉸鏈實現活動連接。