[實用新型]自動對位機構

無效

• 申請號: 201020667207.1
• 申請日: 2010-12-20
• 公開（公告）號: CN201962202U
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 楊明生;王曼媛;范繼良;劉惠森;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C03C17/28
• 分類號: C03C17/28
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本實用新型涉及一種玻璃基板的加工機構，尤其涉及一種基板與掩膜板的自動對位機構。

背景技術

玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機發光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統可包括一或多個制程處理室，以進行前述所述制程。此類制程的工藝要求比較嚴格，必須在真空狀態下以及完全潔凈的空間環境中進行，必須要保證整個制程的真空系統的絕對可靠性。

OLED顯示屏是基于有機材料的一種電流型半導體發光器件。其典型結構是在ITO玻璃上蒸鍍一層幾十納米厚的有機發光材料作發光層，發光層上方有一層低功函數的金屬電極。當電極上加有電壓時，發光層就產生光輻射。為了能夠全彩色顯示，發光層應被圖案化。通常發光層圖案化是利用精細金屬掩膜(MASK)貼合在導電玻璃基板上，使蒸發源中的有機材料在基板上沉積為所要求的圖案。在整個蒸鍍過程中需要將基板和掩膜板準確貼合在一起。傳統的做法是是利用機械手分別抓取掩膜板和基板，并將其放置在蒸發源上方的掩膜板托板上，然而，該操作一般采用人為控制，控制精度不高，基板和掩膜板在貼合時位置精確度難以保證，影響生產的成品率及生產效率。

因此，急需一種基板和掩膜板的貼合對位精確度高、自動化程度高、能有效提高成品率和生產效率的自動對位機構。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種基板和掩膜板的貼合對位精確度高、自動化程度高、能有效提高成品率和生產效率的自動對位機構。

為了實現上有目的，本實用新型公開了一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體、夾持板、開爪裝置，基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板傳輸裝置及掩膜板升降裝置，所述真空腔體前后兩端開設有進口和出口，所述進口及出口處設置有密封的閘閥，所述基板承載并夾持于所述夾持板上并由腔外傳輸裝置穿過進口傳輸進所述真空腔體內，所述基板傳輸裝置帶動所述夾持板沿水平方向在所述真空腔體內傳輸，所述基板升降裝置驅動所述基板傳輸裝置升降，從而帶動所述夾持板在所述真空腔體內做升降運動，所述掩膜板傳輸裝置帶動傳輸進真空腔體內的掩膜板在真空腔體內沿水平方向移動，所述掩膜板升降裝置帶動所述掩膜板在所述真空腔體內做升降運動，所述夾持板上設有用于夾緊掩膜板的夾子，所述開爪裝置密封地伸入所述真空腔體內并用于打開和鎖緊所述夾持板上的夾子，其中，所述自動對位機構還包括固定板、基板對位裝置、控制器及檢測裝置，所述固定板固定在所述真空腔體內的上方并位于開爪裝置與基板升降裝置之間，所述基板對位裝置對真空腔體內的基板進行水平方向上的位置調整對位，所述檢測裝置對真空腔體內的掩膜板與夾持板的位置進行實時檢測，所述基板對位裝置、基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、開爪裝置及所述檢測裝置分別與所述控制器電連接。

較佳地，所述基板對位裝置包括第一對位裝置與第二對位裝置，所述第一對位裝置包括第一對位驅動裝置、第一對位頭及第一對位架，所述第二對位裝置包括第二對位驅動裝置、第二對位頭及第二對位架，所述第一對位驅動裝置具有第一推動桿，所述第一推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第一對位頭固定在所述第一推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第一對位架與所述第一對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第二對位驅動裝置具有第二推動桿，所述第二推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第二對位頭固定在所述第二推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第二對位架與所述第二對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第一對位頭、第二對位頭、第一對位架及第二對位架均位于同一水平面，所述第一對位頭與所述第二對位頭相互垂直設置，所述第一對位驅動裝置通過第一推動桿控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向水平移動，所述第二對位驅動裝置通過第二推動桿控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向水平移動。對位裝置結構簡單，對位方便，所述第一對位裝置及第二對位裝置分別對基板在XY方向上進行調整，通過控制器實現一連貫動作，自動化程度高，效率高，能快速準確實現基板的對位。